工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-56XBD
一、用途
BM-56XBD工業(yè)檢測(cè)顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的。作為**正置金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)，可觀察軟厚的標(biāo)本。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。 |
二、技術(shù)規(guī)格
1、目鏡：
| 類(lèi) 別 | 放 大 倍 數(shù) | 目視場(chǎng)直徑（mm） |
| 超寬視場(chǎng) 平場(chǎng)目鏡 | 10X | Φ25 |
| 目鏡 (帶0.1mm十字分劃板） | 10X | Φ20 |
2、物鏡：
| 類(lèi) 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A(mm) | 系 統(tǒng) | 工作距離（mm） |
| 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn) 長(zhǎng)工作距離 明暗場(chǎng)物鏡 | 5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 | ||
| 20X | 0.40 | 10.6 | ||
| 40X | 0.60 | 5.40 |
3、顯微鏡的總放大倍率：
| 物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數(shù) | 總放大倍數(shù) |
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X | ||
| 20X | 200X | ||
| 40X | 400X |
4、觀察頭：30° 鉸鏈?zhǔn)饺?/p>
5、機(jī)械筒長(zhǎng)：無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)(∞)
6、放大倍數(shù)：50X-400X
（顯微鏡的總放大倍率：顯微鏡的總放大倍率=物鏡倍率×鏡筒系數(shù)倍率×目鏡倍率）
7、轉(zhuǎn)換器：帶DIC插孔五孔轉(zhuǎn)換器
8、瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-75mm
9、雙層移動(dòng)平臺(tái)：
（1）平臺(tái)尺寸：190mmX140mm
（2）移動(dòng)范圍：50×40mm
10、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，微動(dòng)格值0.002mm
11、偏光裝置：檢偏器可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏器、檢偏鏡均可移出光路
12、濾色片：插板式濾色片（藍(lán)、綠、中性）
13、照明系統(tǒng)：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，12V50W鹵素?zé)?，AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié)
14、檢測(cè)工具：0.01mm測(cè)微尺
三、選購(gòu)
1、 二維測(cè)量軟件
2、 專業(yè)金相圖像分析軟件
3、 鹵素?zé)?2V100W
4、 測(cè)微目鏡
5、 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明/ 暗場(chǎng)物鏡：50X、80X、100X
6、 精密載物臺(tái)：X-Y行程25 mmX25 mm,，移動(dòng)精度<5 um，數(shù)顯手輪*小值：0.1um，360°旋轉(zhuǎn)度盤(pán)
7、 DIC：10X、20X、40X、100X
8、 壓平機(jī)
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