實驗室高純氣路泄漏量試驗規(guī)定:
1、泄漏量試驗應(yīng)在壓力試驗合格后進行,試驗介質(zhì)宜采用空氣或氮氣。 對輸送高純氣體的管道的泄漏試驗介質(zhì) 宜采用純度 >99.999%的氮氣;
2、泄漏量試驗壓力應(yīng)為設(shè)計壓力 ;
3、泄漏量試驗時間,應(yīng)連續(xù)試驗24h ;
4、泄漏量試驗工作,可根據(jù)具體條件宜與系統(tǒng)調(diào)試結(jié)合進行。
5、 泄漏量試驗, 可按式4.1計算泄漏量,并以平均每小時泄漏量不超過1%為合格 。
實驗室高純氣路系統(tǒng)調(diào)試、測試要求:
1、強度實驗:管內(nèi)沖人高純氮氣使壓力到達0.8MPa,保持此壓力如10min內(nèi)壓力不降為合格;
2、嚴密性實驗:管內(nèi)沖人高純氮氣使壓力到達0. 5MPa,保持此壓力如30min內(nèi)壓力不降為合格;
3、潔凈測試:管路中沖人純氮,關(guān)閉所有閥門,打開末端閥用一張白布放在管口一分鐘如白布上無雜質(zhì)和水分即為合格。