高載重同步輻射高精度位移平臺

 高載重同步輻射高精度位移平臺

納米位移臺在提供精度位移控制的同時，保證了優(yōu)異而的穩(wěn)定性能，適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負載可達幾公斤，行程達到50mm，小步長50nm，配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能。

 高載重同步輻射高精度位移平臺

適用于超高真空環(huán)境中多維度納米精度位移功能，負載可達幾公斤，行程達到50mm，小步長50nm，配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm#適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負載可達幾公斤，行程達到50mm，小步長50nm，配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能；

+  在厘米級的行程范圍內，達到納米級高精度位移控制

+  的機械穩(wěn)定性

+  位移驅動電壓<45V，無需高壓屏蔽

+  10nm位移精度，+/-200nm位移重復性，<0.01% 精度

+  特殊材質，兼容各種光學實驗環(huán)境和超高真空環(huán)境

+  快速樣品更換裝置