應(yīng)用領(lǐng)域:
透射電鏡、離子探針、掃描電鏡、能譜儀分析等樣品制備,理化分析、科學(xué)研究等。
主要功能:
具備離子噴涂、離子濺射、離子清洗、蒸碳等功能
技術(shù)指標(biāo):
離子噴涂電流:≤100A連續(xù)可調(diào)
離子濺射電壓:≤3KV連續(xù)可調(diào)
極限真空度:優(yōu)于2×10-3Pa
真空腔室尺寸:內(nèi)徑Ф250mm×高度340mm
離子噴涂玻璃隔離罩尺寸:內(nèi)徑Ф88mm×高度140mm
濺射鍍玻璃隔離罩尺寸:Ф88mm×高度57mm
試樣運(yùn)動方式:平面旋轉(zhuǎn)、傾斜旋轉(zhuǎn)、進(jìn)動旋轉(zhuǎn)