1.1 儀器特點(diǎn)
? 多參數(shù)測(cè)量：Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc；
? 高精度傳感器；
? GAUSS濾波器；
? 符合ISO4287；
? 128×64 點(diǎn)陣OLED，白字；
? 內(nèi)置鋰離子充電電池，容量高、無(wú)記憶效應(yīng)，連續(xù)工作時(shí)間大于20小時(shí)；
? 機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，體積小，重量輕，使用方便；
? 具有自動(dòng)關(guān)機(jī)、記憶及各種信息；
? 可選配曲面?zhèn)鞲衅?、小孔傳感器、測(cè)量平臺(tái)、接長(zhǎng)桿等附件。
1.2 儀器參數(shù)：
1、 傳感器
? 檢測(cè)原理： 電感式
? 測(cè)量范圍： 200μm
? 針尖半徑： 5μm
? 針尖材料： 金剛石
? 觸針測(cè)力： 4mN(0.4gf)
? 觸針角度： 90°
? 導(dǎo)頭縱向半徑：45mm
2、 驅(qū)動(dòng)參數(shù)
? 驅(qū)動(dòng)行程： 15mm
? 驅(qū)動(dòng)速度： 測(cè)量時(shí) 當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回時(shí) V=1mm/s
? 示值誤差：不大于±10% ，示值變動(dòng)性：不大于6%
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