◆ 1. 環(huán)境控制功能(大氣,真空,液體,溫控等)
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境,極大大限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的物理特性測(cè)量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
(zhuanli3857581號(hào)、zhuanli3926638號(hào))
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120~300℃) 高溫(室溫~800℃)
●濕度控制(0~80%)
◆ 2. 簡(jiǎn)便操作(綜合型Holder Flange)
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』,樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí),免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測(cè)試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。
◆ 3. 的高性能
采用了『Swing Cancel功能』,減輕了樣品的浮動(dòng),降低了漂移。提高了納米分析性能,提升了可信度。
◆ 4. 通過減輕表面吸附水的影響,提高了電氣性能的檢測(cè)精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響,因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。