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FR-Scanner掃描型膜厚測(cè)試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京中兆國(guó)儀科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/3/17 9:56:53
  • 訪問(wèn)次數(shù)174
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北京中兆國(guó)儀科技有限公司是專業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和儀器儀表的公司,是集設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)、銷售與服務(wù)為一體的現(xiàn)代企業(yè)。中兆國(guó)儀儀器為廣大企業(yè)、高等院校、科研機(jī)構(gòu)、環(huán)保單位、電子電力單位等提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。中兆國(guó)儀儀器堅(jiān)持以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向,以客戶需求為己任。一直致力于用更好的服務(wù)來(lái)發(fā)展客戶,通過(guò)與眾多的國(guó)內(nèi)品牌廠商的緊密合作,建立了完善的供應(yīng)鏈體系。中兆國(guó)儀產(chǎn)品:北京中兆國(guó)儀科技有限公司產(chǎn)品涵蓋儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器、水質(zhì)分析儀器、農(nóng)業(yè)儀器、環(huán)境檢測(cè)、無(wú)損檢測(cè)、光學(xué)儀器、氣體檢測(cè)儀器、分析儀器、化學(xué)儀器、物理儀器、基礎(chǔ)儀表、教學(xué)儀器等,總計(jì)數(shù)千種產(chǎn)品型號(hào)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于高等院校、科研單位、石油化工、環(huán)境監(jiān)測(cè)、電子電力、機(jī)械制造、生物制藥、鑄造冶煉、模具制造、信息通訊、食品釀酒、紡織服裝、工程建筑等各個(gè)行業(yè)。
掃描型膜厚測(cè)試儀全自動(dòng),超快速,高精準(zhǔn)等膜厚表征繪制和膜厚涂覆的光學(xué)特性,利用光學(xué)反射方法來(lái)測(cè)量和自動(dòng)分析薄膜涂層的表征。
FR-Scanner掃描型膜厚測(cè)試儀 產(chǎn)品信息

掃描型膜厚測(cè)試儀

是簡(jiǎn)潔易操作的臺(tái)式膜厚儀,適用于在大尺寸基板上的薄膜和涂層上,利用光學(xué)反射方法來(lái)測(cè)量和自動(dòng)分析薄膜涂層的表征。

掃描型膜厚測(cè)試儀

膜厚儀是可通過(guò)測(cè)定放置在真空托盤(pán)上的任何大小的半導(dǎo)體晶圓片,快速計(jì)算出其厚度、折射率、均勻性、顏色等參數(shù)。

 

膜厚儀的光學(xué)掃描系統(tǒng),采用一套又可配套的光譜儀,集成白熾和LED混合的光源,以及其他光學(xué)部件。在本系統(tǒng)設(shè)計(jì)中沒(méi)有任何彎曲或移動(dòng)探針。因此,在精確度、重復(fù)性和長(zhǎng)期性方面,光纖具有優(yōu)異的性能。確保系統(tǒng)結(jié)果輸出的穩(wěn)定性。此外光源的特殊設(shè)計(jì)提供極長(zhǎng)壽命,可達(dá)10000小時(shí)以上。

 

 

系統(tǒng)參數(shù)

FR-Scanner-E

VIS/NIR

FR-Scanner-F

VIS/NIR

FR-Scanner-F  VIS

樣片尺寸

晶圓片: 2in-3in-4in-6in-8in.  不規(guī)則樣片等

R向分辨精度

10μm

5μm

5μm

角度分辨精度

0.2°

0.1°

0.1°

光斑大小

500μm (直徑):  反射的區(qū)域

zui小膜厚

100nm

光譜范圍

350nm  - 1100nm

350nm  - 1100nm

550nm  – 900nm

光譜儀參數(shù)

3648   pixels

光源平均使用壽命

10000小時(shí)

膜厚范圍

20nm-90μm

20nm-90μm

100nm-190μm

測(cè)量分辨率

<0.1nm

0.06nm

0.06nm

測(cè)量穩(wěn)定范圍

<0.1nm

0.06nm

0.06nm

測(cè)量精度

1nm  

1nm

1nm

掃描速率

200meas/min  

5points:  6sec

25points:  15sec

625meas/min  

5points:  4sec

25points:  9 sec

625meas/min  

5points:  4sec

25points:  9 sec

通訊接口

USB  2.0 / USB 3.0.  Any  PC  running  Windows  7/8/10  64bit.

尺寸

485W   x  457L  x  500H   mm

功率要求

110V/230V,  50-60Hz, 300Watts

重量

23kg

40kg

40kg

 

*附件選項(xiàng)

電腦:PC with 19inch screen

對(duì)焦模塊:光學(xué)模塊附帶250um直徑光斑大小的反射探針

泵浦:樣品放置用的高級(jí)無(wú)油真空泵浦

關(guān)鍵詞:真空泵
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