1200℃立式氣氛管式爐采用立式結(jié)構(gòu)設計,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,加熱爐膛有左右兩部分組成,其中右部爐膛可整體向右翻轉(zhuǎn)110°,方便取放、觀察實驗物料,能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻。可密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性,以預抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體。氣路具有進出氣微量可調(diào)功能。該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,特別適合薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要!
應用范圍:
1200℃立式氣氛管式爐主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
1200℃立式氣氛管式爐技術(shù)參數(shù):
電爐名稱 | 1200度立式管式氣氛爐 |
電爐型號 | SGMT1200-S50-100 |
爐管尺寸 | Φ50×1000mm |
溫區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
恒溫區(qū)長 | 200mm |
工作溫度 | 1100℃(此溫度為長期加熱溫度) |
設計溫度 | 1200℃ |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示) |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
加熱速率 | 0~20℃/分 |
加熱元件 | 含鉬合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
額定功率 | 3KW |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
真 空 度 | 雙極旋片機械泵:10^-2 torr |
供氣系統(tǒng) | 該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速。 |
爐管材質(zhì) | 氣煉石英管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
凈 重 | 70KG |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞 |
電氣認證 | CE認證 |
售后服務 | 12個月質(zhì)保、終身保修 |