硅片清洗機
※用于硅晶片清洗腐蝕;
※清洗規(guī)格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件。
※用于硅晶片清洗腐蝕;
※清洗規(guī)格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性;
※ 工藝參數(shù)(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調(diào))手動由觸摸屏界面可設(shè)定;
※ 機臺前方為清洗工作區(qū)域,機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。
※ 藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置;