半自動GAN/GaAs外延片清洗機
※ 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。
※清洗規(guī)格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件。
※ 設備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性;
※ 工藝參數(shù)(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調(diào))手動由觸摸屏界面可設定;
※ 機臺前方為清洗工作區(qū)域,機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。
※ 藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質檢測裝置;
※ 配有分體式廢液回收系統(tǒng);
※ 強排風風通道:¢200mm×1;排風量:1500m3/h×2