無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案
主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專(zhuān)?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,
?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。
半導(dǎo)體行業(yè)主營(yíng)控溫產(chǎn)品:
半導(dǎo)體專(zhuān)溫控設(shè)備
射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)
半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備chiller
Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)
Chiller直冷型
循環(huán)風(fēng)控溫裝置
半導(dǎo)體?低溫測(cè)試設(shè)備
電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?/span>
射流式高低溫沖擊測(cè)試機(jī)
快速溫變控溫卡盤(pán)
數(shù)據(jù)中心液冷解決方案
型號(hào) | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
溫度范圍 | 5℃~40℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
流量控制 | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R410A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 (DI溫度需要控制10℃以上) | ||||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
電源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
溫度擴(kuò)展 | 通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃ |
溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)
溫度控制器Chiller 半導(dǎo)體低溫冰水機(jī)
隨著科技的發(fā)展,集成電路行業(yè)這個(gè)領(lǐng)域,準(zhǔn)確的溫度控制對(duì)于確保芯片的性能和可靠性有一定作用。為了滿(mǎn)足這一需求,集成電路行業(yè)廣泛使用了一種設(shè)備——光阻回刻刻蝕雙通道chiller。
一、什么是光阻回刻刻蝕雙通道chiller?
光阻回刻刻蝕雙通道chiller是一種專(zhuān)門(mén)用于冷卻的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各種需要準(zhǔn)確溫度控制的領(lǐng)域。在集成電路行業(yè),光阻回刻刻蝕雙通道chiller的主要作用是提供穩(wěn)定的冷卻水,以維持芯片制造過(guò)程中的溫度恒定。
二、光阻回刻刻蝕雙通道chiller的特點(diǎn)
1、高精度:集成電路行業(yè)用光阻回刻刻蝕雙通道chiller具有高精度的溫度控制能力,能夠確保芯片制造過(guò)程中的溫度波動(dòng)變小。
2、高可靠性:由于集成電路對(duì)溫度變化非常敏感,因此光阻回刻刻蝕雙通道chiller需要具有高的可靠性,以確保生產(chǎn)過(guò)程中的穩(wěn)定運(yùn)行。
3、易于維護(hù):為了滿(mǎn)足生產(chǎn)線(xiàn)的連續(xù)運(yùn)行需求,光阻回刻刻蝕雙通道chiller應(yīng)具備易于維護(hù)的特點(diǎn),方便操作人員快速解決問(wèn)題。