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1200度立式爐立式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱南京博蘊通儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地南京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/12/2 19:15:15
  • 訪問次數(shù)183
產(chǎn)品標簽:

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南京博蘊通儀器科技有限公司是在規(guī)定高校校辦企業(yè)與高校脫鉤的形勢下、在南京大學校辦工廠產(chǎn)權改制的情況下、由南京大學校辦工廠核心成員組建的一家專業(yè)從事電爐、球磨機研究和開發(fā)的生產(chǎn)型企業(yè)。 公司聘請了多名南京大學、東南大學、南京郵電大學、南京理工大學、河海大學等教授為指導,吸收了國外眾多品牌的優(yōu)點并結合自身多年產(chǎn)品設計開發(fā)經(jīng)驗,先后研制出了多款外觀優(yōu)美、結構緊湊、功能強大的材料研發(fā)設備。其中真空熔煉爐、真空電弧爐、真空鎢絲爐、真空鉬絲爐、大型轉動管式爐、真空懸浮熔煉爐等設備已經(jīng)達到了水平。公司產(chǎn)生的雙溫區(qū)雙翻蓋管式爐于2015年在南京航空航天大學生長出了世界上【硼烯】。其中的多款設備被耶魯、哈弗、斯坦福、新南威爾士等世界學府選用,在國內被 中科大微尺度國家實驗室、南京大學微結構國家實驗室、華中科技大學光電國家實驗室、華中科技大學煤燃燒國家重點實驗室、浙江大學硅材料國家重點實驗、中航工業(yè)北京材料研究院、中國航天集團空氣動力研究院、中科院物理所、中科院化學所、上海硅酸鹽研究所等學府及研究單位選用。 公司本著“、客戶“的宗旨,刻苦奮斗努力拼搏的精神,在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行國內外行業(yè)標準。使我們的產(chǎn)品遠銷歐美、加拿大、澳大利亞、印度、韓國、等世界各地,每年出口設備在500臺以上。公司總生產(chǎn)和銷售的設備超過1000臺。公司產(chǎn)品先后通過了ISO9000 、UL、CSA、CE等認證。全建立了一套完整的質量管理體系,產(chǎn)品質量具有可靠保證,物美價廉,是高校、科研院所、研發(fā)企業(yè)的產(chǎn)品。 公司堅持以客戶需求為導向,博采眾長、結合自身優(yōu)勢、蘊育通達,為客戶提供的產(chǎn)品。 熱忱歡迎新老客戶對我們的工作提出寶貴意見。 愿竭誠與廣大用戶、科研院所、業(yè)界同仁合作,共同發(fā)展。 我們只專注于電爐和球磨機。因為專注、所以專業(yè)。
真空爐
詳細技術參數(shù)VTL1200立式管式爐型號VTL1200-PECVD-IVTL1200-PECVD-IIVTL1200-PECVD-III功率3
1200度立式爐立式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

詳細技術參數(shù)

VTL1200 立式管式爐

 

 

 

型號

VTL1200-PECVD-I  

VTL1200-PECVD-II  

VTL1200-PECVD-III

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

  爐管尺寸

Dia 60(OD) X1200mm

Dia 80(OD) X1200mm

Dia 100(OD) X1200mm

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

              國產(chǎn)優(yōu)質電阻絲(可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲)    點擊進入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                 

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

         控溫模式

智能PID

       斷偶保護和顯示

          過溫保護

            過流保護

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤20 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改)

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K  型 

加熱段長度

200mm

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

爐塞、材料放置

爐塞、材料放置圖片

射頻電源

(等離子體發(fā)生器)

 

功率輸出范圍

  0-500W

 

 

 

 

 

反射功率 

200W

工作頻率

射頻:13.56MHZ±0.005%

功率穩(wěn)定度

  +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區(qū)域寬度

0-600mm 可調

匹配方式

 自動

 冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

 

質量流量計

 

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

方案一或方案二任選一個

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

VRD-8真空泵 

(方案一)

型號

VRD-8

極限分壓強

5X10-2 Pa

進排氣接口

 KF25

電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

電機功率

0.4KW

Preiffer ACP15無油多級羅茨泵

方案二

型號 ACP15
電源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽氣速率 14  m3/h
極限壓強 0.02Torr
進、排氣接口 KF25

電阻真空計

(方案一)

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷電容真空計

  (方案二)

 

 

 

 

   

 

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

(方案一或方案二任選一個)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100pa

分子泵前級真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

 

 

德國Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 Pa

質保期

一年保修,終身技術支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當使用的爐管為剛玉管時,爐體溫度高于1500℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝

VTL1200-PECVD系統(tǒng),由VTL1200真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。

 主要特點:

     1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。

     2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

     3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

     4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。

     5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

 

  這款VTL1200-PECVD系統(tǒng)以電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點。  

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                

           

        Kanthal A1 原絲                        進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

                                                    

  Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡

    溫場效果好                 

 

2、安裝有空氣開關和漏電保護器:

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

1、真空吸濾成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、認證

     

 

7、法蘭

                                                    

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                  

8、全圖

 

VTL1200-PECVD系統(tǒng)標配

描敘

數(shù)量

圖片

VTL1200管式爐

1 套

 

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

        

不銹鋼爐鉤

1 個

氧化鋁爐塞

1對

高溫手套

1 雙

氧化鋁坩堝

1 個

K型熱電偶 1 個

485轉換接口和軟件(選配)

1 套

說明書

1本

 

法蘭支撐架

1 份

 

供氣系統(tǒng)

1臺
VS-0.1抽氣系統(tǒng) 1臺
射頻電源 1臺

卡套 4個
波紋管 1支
真空擋板閥 1個
鋼瓶接頭(N代表路數(shù)) N個
閥門接頭 2個
聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) NX5

 

 

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