羅茨真空泵又稱機(jī)械增壓泵，是一種容積式干式真空泵，是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，是利用兩個8字形轉(zhuǎn)子在兩個半圓形的泵腔內(nèi)作同步反向轉(zhuǎn)動，從而完成吸氣和排氣的過程。該泵不能單獨(dú)使用，必須與前級泵(如螺桿泵、水環(huán)泵等)串聯(lián)使用。羅茨泵的極限壓力由前級泵決定，表中數(shù)據(jù)是以螺桿真空泵為前級泵時的極限壓力。
羅茨泵特點(diǎn):
1、高壓縮比：轉(zhuǎn)子采用寬頭部型線，密封帶寬，獲得高壓縮比。能在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)(1~1x10^Pa)有較大的抽速。
2、清潔環(huán)保：泵腔無油，側(cè)蓋采用密封，避免了油蒸汽污染真空系統(tǒng)。
3、運(yùn)行高可靠性：軸封，避免被抽介質(zhì)進(jìn)入軸承腔，造成潤滑油乳化失效。
4、低振動:轉(zhuǎn)子作G1級動平衡，振動小，噪聲小。
5、整體無定位銷組合，O形密封圈密封，易于維護(hù)和維修，費(fèi)用低，壽命高。
6、高標(biāo)準(zhǔn)配置：進(jìn)口軸承、5級齒輪、德標(biāo)聯(lián)軸器，可抽除可凝性氣體。
7、不可單獨(dú)使用，必須配置前級泵。
建議:羅茨真空泵長期工作時，視規(guī)格大小，進(jìn)出口壓差控制在15~20Torr之間。
ZJ、ZJP型泵性能基本參數(shù)表
| 型 號 | 極限壓力 | 抽氣速率(L/s) | 溢流閥壓差或允許壓差(HPa) | 進(jìn)氣口徑(mm) | 排氣口徑(mm) | 配用功率(Kw) | 推薦配用前級泵 | |
| Pa | Torr | |||||||
| ZJ-200 | 5×10–1 | 4×10–3 | 200 | 80 | 100 | 100 | 3 | LGB80、LG55 |
| ZJ-300 | 5×10–1 | 4×10–3 | 300 | 60 | 150 | 100 | 4 | LGB110、LG120 |
| ZJ-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 150 | 7.5 | LGB150 |
| ZJ-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11 | ZJ-300/LGB150 |
| 5×10–1 | 4×10–3 | LGB300 | ||||||
| ZJ-5000 | 1×10–2 | 8×10–5 | 5000 | 50 | 400 | 320 | 45 | ZJ-1200/ZJ600/LGB300 |
| ZJP-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 200 | 5.5/7.5 | LGB150 |
| ZJP-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11/15 | ZJ-300/LGB150 |
| ZJP-2500 | 5×10–2 | 4×10–4 | 2500 | 30 | 320 | 250 | 18.5/22 | ZJ-600/LGB220 |
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