簡介:
滑軌式管式爐一體化結(jié)構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移
動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫的效
果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
- 工作溫度RT-1000℃;
- 日本進口智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調(diào)用多段程序;
- 爐殼結(jié)構,雙層爐殼風冷結(jié)構;
- 不銹鋼雙層密封法蘭,進、出氣閥采用美標針閥;
- 兩端可調(diào)式法蘭支撐結(jié)構,延長石英管使用壽命;
- LED高強度、抗破壞、全不銹鋼按鈕,經(jīng)久耐用;
- 超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電;
- 安全保護當爐體漏電時自動斷電。
技術參數(shù):
設備型號 溫度 管徑 加熱區(qū) 溫度數(shù) 熱偶 電壓 功率 FGL(RTP)-40/11/1 1100℃ 40mm 320mm 1個 K型 220V 3.0kw FGL(RTP)-50/11/1 1100℃ 50mm 320mm 1個 K型 220V FGL(RTP)-60/11/1 1100℃ 60mm 320mm 1個 K型 220V FGL(RTP)-70/11/1 1100℃ 70mm 320mm 1個 K型 220V FGL(RTP)-80/11/1 1100℃ 80mm 320mm 1個 K型 220V