Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件,液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測光學(xué)傳感器采用美國進(jìn)口整機(jī),吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵,并可通過流量傳感器來調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量,使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi),表面測試探頭根椐德國同類產(chǎn)品進(jìn)行改進(jìn),并配有防靜電軟管與主機(jī)連接,其用于排氣及吸氣過濾的囊式過濾器,內(nèi)部濾材為德國進(jìn)口,從而保證儀器的檢測精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。
主要技術(shù)性能參數(shù)
1. 檢測精度:0.3微米(0.1微米可訂制)
2. 檢測通道:0.3,0.5,0.71.0,3.0,5.0,7.0,10.0微米八通道
(可定制:0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,0.7,1.0微米)
3. 計(jì)數(shù)效率:0.3微米百分之五十±20%(一粒徑通道),0.5微米±10%(二粒徑通道)
4. 采樣流量:28.3L每分鐘±5,可通過觸摸屏控制自行調(diào)整
5.采樣時(shí)間:1S—24H
6. 重復(fù)性:相對標(biāo)準(zhǔn)偏差≦10%
7. 粒徑準(zhǔn)確度:相對誤差≦10%
8. 自凈時(shí)間:≦10min
9. 光源:激光二極管,經(jīng)過特殊工藝處理優(yōu)化理論壽命20年(MTT)或壽命大于40000小時(shí)
10. 操作界面:彩色觸摸屏顯示控制屏,便于操作和設(shè)定,能同時(shí)顯示八個(gè)通道的數(shù)據(jù)
11. 分辨率:320*240,屏幕數(shù)據(jù)縮功能
12. 允許采樣濃度:≧0.3微米≦1000000立方英尺損失≦10%或≦500000立方英尺損失≦5
13. 檢測的空氣中不得含有腐蝕性氣體
14. 外形尺寸:280*260*260(mm)
15. 重量:7KG
16. 功耗:50W
17. 電源:AC 100~240 ,50—60HZ,16.8V內(nèi)置鋰電池、DC16—24V
18. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ):3000組
19. 表面材質(zhì):SUS316L
20. 連續(xù)工作時(shí)間:8小時(shí)
21. 零計(jì)數(shù): ≦10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0
22.執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):ISO21501-4:2018、GB/T6167-2007、JJF1190-2008
23. 采樣口徑:1/4”Flaretek TM
24. 使用環(huán)境條件:溫度:10-35℃ ,濕度:20-75%RH,大氣壓:86-106kPa
25. 輸出方式:內(nèi)置熱敏打印機(jī)或485協(xié)議
26. 語言:中、英、德、日等多國語言
27. 保修:二年 (儀器自身質(zhì)量)