本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強(qiáng)大,是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 | 明細(xì) |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-PSP180G-1TA-SWR |
樣品臺(tái) | 直徑φ60mm, 可在兩個(gè)靶位間自動(dòng)切換 |
直流濺射頭 | 2”x1 |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
真空泵 | 旋片泵 |
極限真空 | 1.0E-1Pa |
真空接口 | KF16真空法蘭 |
進(jìn)氣口 | φ6.35卡套接頭 |
供電電源 | AC 220V 50Hz |
整機(jī)功率 | 1.5KW/2KW(旋轉(zhuǎn)加熱) |