EQ-RTP1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速熱處理) 管式爐。配有三路流量計(jì)和一個(gè)機(jī)械泵（真空度達(dá) 10-3 torr ）。他專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá) 3" ）退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用 9KW的紅外燈加熱，升溫速度是 100oC/秒. 30 段精確溫度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。安裝在移動(dòng)架里的三路氣體控制和真空泵跟RTP 爐體相連接。
技術(shù)參數(shù)
| 關(guān)于RTP 爐子 | - 爐體結(jié)構(gòu): 雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷,內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
- 加熱元件: 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm)
- 加熱區(qū): 4"X12" length （ +/-5oC ）
- 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
- 真空法蘭: 不銹鋼制作，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫”O“型圈密封。 長(zhǎng)時(shí)間在 > 900oC 條件下運(yùn)行必須采用水冷
- 循環(huán)水流量: 0.5 m3 /hr
- 溫控儀: 通過可控硅（SCR) PID 自動(dòng)控制
- 帶自整定功能的30 程序精確控制
- 具有過熱保護(hù)和斷偶保護(hù)功能
- 控溫精度: +/- 0.5oC
- RS485 接口可與電腦連接
- 包含軟件(要求Window XP/7 系統(tǒng))
- 升溫速度: 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
- 工作溫度: 1100oC
- 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))
- 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
- 重量: 45 kg (100 lbs)
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| 結(jié)構(gòu) | | 可滑動(dòng)的石英樣品架, 可放 3" 基片 | 爐子可以以 100 oC/second升溫到1000oC, 打開上蓋可快速降溫 | 滑動(dòng)法蘭使得裝載樣品很容易 | | 控溫軟件 |
| 溫控軟件的主界面 | |
| 可選 | 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 關(guān)于真空泵和氣體流量計(jì) | - 3個(gè)氣體流量計(jì) (量程40-400 cc/min ， 精度4% FS) 安裝在移動(dòng)架底部,顯示每路氣體的流量。
- 高速真空泵2TW-4C-220v（真空度可達(dá)f 10-2 torr）. 通過橡膠管與RTP爐子相連.
- 4個(gè)不銹鋼針閥（移動(dòng)架的側(cè)面）分別控制3路進(jìn)氣和一路混合氣。
- 4個(gè)壓力表（移動(dòng)架的正面）分別顯示每路氣體和混氣的壓力。
- 尺寸: 600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
- 重量: 210 lbs
- 保修期: 一年質(zhì)保期(耗材：如爐管,“O"型圈 和紅外燈等不在保修范圍內(nèi)）
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