GSL-1100X-SPC12是一款緊湊型等離子薄膜濺射儀,專門設計為基地鍍上金屬膜,如金,鉑,銦和銀等。可放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300埃,特別適用于為SEM樣品鍍上金而作為導電極。
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
|
等離子腔體
| 石英腔體尺寸: 100 mm Dia. x 130mm H
|
載樣臺 |
|
進氣口 | 一個閥安裝在儀器內(nèi)部,可以往腔體中通入各種氣體 |
靶材尺寸 |
|
外型尺寸 | L480mmx W320mm x H150mm |
凈重 | 20 kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護 |
質(zhì)量認證 | certified |