FF-1600 復(fù)合分子泵
產(chǎn)品外觀 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 |
FF型復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
性能特點(diǎn) |
- 1.高極限真空
- 的整體加工轉(zhuǎn)子,可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速,提高了泵的極限真空。
- 2.大抽速
- 復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速。
- 3.高壓縮比
- 轉(zhuǎn)子的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
- 4低噪音
- 采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對(duì)軸承的磨損小,軸承壽命長(zhǎng),整機(jī)振動(dòng)小,噪音低。
- 5.清潔無(wú)油
- 分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無(wú)油的高真空和超高真空。
- 6.節(jié)能
- 由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。
用途 |
主機(jī) | |
進(jìn)氣口通徑 | DN250mm |
排氣口通徑 | KF40mm |
抽氣速率 | 1600L/s |
極限壓強(qiáng) | 5×10-7Pa (金屬密封) 5×10-6Pa (橡膠密封) |
相關(guān)參數(shù) |