PDC200/210/510
等離子清洗機(jī)特點(diǎn):
RIE模式標(biāo)配(DP切換為選購)等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面。
等離子清洗機(jī)用途:
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
模式 | RIE模式(DP選配) | DP/RIE切換方式 | |
電極制造 | 平行平板電極(固定) | ||
頻率 | 13.56MHz | ||
控制方式 | 自動聯(lián)動液晶觸摸屏控制 | ||
反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar/02) | ||
充填氣體 | N2/潔凈干燥空氣 | ||
反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | 聚合控制器 |
真空泵 | 另行選配 | 油回旋真空泵(排氣量345L/min) | 油回旋真空泵(排氣量500L/min) |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2套、填充氣體1套 | ||
高頻輸出功率 | Max.300W | Max.500W | Max.500W |
溫度設(shè)定方式 | 用上下鍵進(jìn)行數(shù)碼設(shè)定 | ||
反應(yīng)室尺寸(mm) | 400×250×150 | 400×250×150 | 500×300×200 |
電極尺寸(mm) | 250×170 | 250×170 | 400×200 |
外形尺寸(mm) | 540×600×600 | 540×600×600 | 700×700×700 |
電源(50/60Hz) | 單相AC100V 15A | 3相AC200V 15A | 3相AC200V 15A |