羅茨真空機(jī)組是以羅茨泵為主泵,以水環(huán)泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利,它克服了單臺(tái)水環(huán)泵使用時(shí)極限壓力差(機(jī)組的極限壓力比水環(huán)泵有很大的提高),在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作,有較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。尤其能夠適應(yīng)抽除大量的可凝性蒸汽,特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠,或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能,或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。