美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 技術(shù)參數(shù):
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù):
離子源型號 | 離子源 KDC 10 |
Discharge | DC 熱離子 |
離子束流 | >10 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 1 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 1-5 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 11.5 cm |
直徑 | 4 cm |
中和器 | 燈絲 |
伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界水平的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含:德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機,美國HVA 真空閥門,美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機,離子蝕刻機,真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù),* 使用原廠進口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師;擁有*的拆解,維修,校正能力并提供24小時在線服務(wù)。
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù):
離子源型號 | 離子源 KDC 10 |
Discharge | DC 熱離子 |
離子束流 | >10 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 1 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 1-5 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 11.5 cm |
直徑 | 4 cm |
中和器 | 燈絲 |
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