MX61A是一款專門設(shè)計的半導(dǎo)體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢進行操作,有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測,保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。
始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強了明視場、暗視場的性能,從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫化,實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),暗視場圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)。
明視場觀察
新暗視場觀察
傳統(tǒng)的暗視場觀察
自動調(diào)節(jié)亮度
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
對應(yīng)各種設(shè)備的實時AF
深紫外線觀察用物鏡
對應(yīng)多種觀察方法
物鏡UIS2系列產(chǎn)品
觀察方法的切換非常簡單,只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。
明視場觀察
暗視場觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
近紅外線觀察(左)和可見光線觀察(右)的比較
提供擴展性的解決方案
提供擴展性的解決方案
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準),S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準)和CE標(biāo)識(歐洲強制性認證)等的國際標(biāo)準。符合人體工程學(xué)和安全對策等,高水準的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
傾斜觀察筒示意圖
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達,實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。
高抗振本體
高倍率觀察圖像示意圖
可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
手控開關(guān)操作部
幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機組合
晶圓搬送機
自動載物臺組合
自動載物臺