紫外曝光、光刻

　匯博光學(xué)（沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司），隸屬沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司。是始建于1961年的科研院所，隸屬于有限公司(簡(jiǎn)稱“國(guó)機(jī)集團(tuán)”），國(guó)機(jī)集團(tuán)成立于1997年1月，是由直接管理的國(guó)有重要骨干企業(yè)，世界五企。匯博光學(xué)前身是原機(jī)械部沈陽(yáng)儀器儀表工藝研究所（沈工所）光學(xué)薄膜技術(shù)基地，從事光學(xué)薄膜技術(shù)研究已有五十多年歷史，多年來(lái)承擔(dān)了國(guó)家三十多項(xiàng)科研項(xiàng)目，制定多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，培養(yǎng)造就了一批精干的光學(xué)薄膜專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，為企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。經(jīng)過(guò)五十幾年的建設(shè)和發(fā)展，現(xiàn)已成為我國(guó)干涉濾光片和光學(xué)反光鏡產(chǎn)品的主要研發(fā)生產(chǎn)基地。 　　匯博光學(xué)專(zhuān)業(yè)從事光學(xué)鍍膜工藝技術(shù)研究和光學(xué)薄膜產(chǎn)品開(kāi)發(fā)生產(chǎn)。在干涉濾光片和光學(xué)反光鏡設(shè)計(jì)制造技術(shù)方面有深厚的經(jīng)驗(yàn)積累。現(xiàn)已開(kāi)發(fā)形成十幾個(gè)系列、1000多種規(guī)格型號(hào)的濾光片和反光鏡產(chǎn)品，產(chǎn)品通過(guò)ISO9001-2008質(zhì)量管理體系認(rèn)證。其中紫外－可見(jiàn)－近紅外光譜窄帶干涉濾光片、生化濾光片、熒光光學(xué)濾光片、漸變密度濾光片、球面和非球面反射鏡等主要產(chǎn)品占有國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的較大份額，產(chǎn)品出口美國(guó)、德國(guó)、日本、法國(guó)、意大利、印度、以色列、巴西和東南亞等四十多個(gè)國(guó)家和地區(qū)?！? 　　匯博光學(xué)建有精密干涉濾光片和精密光學(xué)反光鏡兩條專(zhuān)業(yè)的超凈化光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線，現(xiàn)有各型光學(xué)鍍膜機(jī)二十余臺(tái)，設(shè)有現(xiàn)代化的光學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室，有包括PE Lambda900、Varian Cary300、Cary6000i、Cary7000在內(nèi)的大型精密光學(xué)測(cè)試儀器多臺(tái)，可對(duì)遠(yuǎn)紫外（短至200nm)到中紅外（長(zhǎng)至50μm）的光譜特性進(jìn)行檢測(cè)。另外，國(guó)家儀器儀表元器件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心掛靠在本所，為產(chǎn)品物理和環(huán)境特性的檢測(cè)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持和保障。