MX-IR / BX-IR透視近紅外顯微鏡詳細(xì)介紹:
非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部
隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package)、三維組裝、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無損檢查和分析。
倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析
在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,則可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下,就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效。
晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞
晶圓級CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化,可以用非接觸方式檢查。此外,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。
針對不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容
MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號)
可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品。只對應(yīng)反射照明觀察。
BX系列產(chǎn)品(標(biāo)準(zhǔn)型號)
BXFM(嵌入式設(shè)備型號)
技術(shù)規(guī)格:
將專用物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上,就可以組成紅外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格,請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
LMPlan-IR紅外線觀察用
對應(yīng)顯微鏡一覽
紅外線反射觀察
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號
> MX61L/ MX61: 可以對應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動(dòng)型號
> MX51: 可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號
> BX51M: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號
紅外線反射透射觀察
> BX61: 操作省力的電動(dòng)控制型號
> BX51: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號
非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部
隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package)、三維組裝、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無損檢查和分析。
倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析
在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,則可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下,就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效。
晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞
晶圓級CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化,可以用非接觸方式檢查。此外,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。
鋁引線部分(內(nèi)面觀察) | 焊錫溢出性評價(jià) | 電極部分(內(nèi)面觀察) |
MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號)
可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品。只對應(yīng)反射照明觀察。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61 | 工業(yè)檢查顯微鏡 MX51 |
研究級全電動(dòng)系統(tǒng) 金相顯微鏡 BX61 | 對應(yīng)反射光觀察和透射光觀察。 |
小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM |
技術(shù)規(guī)格:
將專用物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上,就可以組成紅外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格,請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
LMPlan-IR紅外線觀察用
對應(yīng)顯微鏡一覽
紅外線反射觀察
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號
> MX61L/ MX61: 可以對應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動(dòng)型號
> MX51: 可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號
> BX51M: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號
紅外線反射透射觀察
> BX61: 操作省力的電動(dòng)控制型號
> BX51: 從明視場到熒光,對應(yīng)大范圍觀察的通用型號