Nikon開發(fā)的高精度、高速量測及高NA的CNC影像量測儀VMZ-R Series,不只在精度上再升級,在Z軸的量測高度上也做了提升,讓產(chǎn)品的量測擁有更高的多元性。
●新雷射系統(tǒng)
除原有影像對焦及雷射對焦、掃描等功能,新的雷射感應(yīng)器也可量測膜的表面及底部,進(jìn)而測量膜厚。
●創(chuàng)新光源設(shè)計(jì)
表面光、底部光及環(huán)型光皆采用LED的設(shè)計(jì),光源更穩(wěn)定且壽命更長。
環(huán)型光源有三種不同照射角度且八方向的設(shè)計(jì),讓邊界的量測更加簡易。