曼戈斐集團(tuán)（以下簡(jiǎn)稱MEGPHY）成立于2011年，是一家專業(yè)從事光學(xué)測(cè)量?jī)x器銷售和技術(shù)支持的公司。公司由具備多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用工程師、技術(shù)工程師和營(yíng)銷專員組成，致力于為用戶提供高效、精準(zhǔn)的解決方案，并提供包括產(chǎn)品測(cè)試、產(chǎn)品咨詢、裝機(jī)調(diào)試及培訓(xùn)、售后維護(hù)保養(yǎng)及升級(jí)等服務(wù)。我們堅(jiān)持以為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和售后服務(wù)為企業(yè)信念,客戶來(lái)自包括半導(dǎo)體、3C、攝像頭模組、汽車工業(yè)、新能源技術(shù)、印刷和造紙工業(yè)、國(guó)防安全、醫(yī)療器械、機(jī)械加工技術(shù)以及新材料研究等眾多領(lǐng)域。 MEGPHY專注于標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品以及定制化的解決方案，我們同眾多光學(xué)廠商合作，包括德國(guó)Mahr、美國(guó)SOLARIUS、德國(guó)ZEISS、日本Nikon、法國(guó)CSI等，產(chǎn)品涵蓋3D共聚焦顯微鏡、3D線掃描輪廓儀、掃描電鏡、原子力顯微鏡、工業(yè)CT、X-RAY、光學(xué)元件測(cè)量工作站、CNC全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x、三坐標(biāo)、工業(yè)光學(xué)顯微鏡、SMT基板清潔機(jī)等。我們堅(jiān)持本地化、定制化方針，為中國(guó)制造業(yè)客戶提供專業(yè)性的解決方案。我們充分了解客戶要求和預(yù)算，深入整合光學(xué)技術(shù)和定制化的數(shù)據(jù)獲取、數(shù)據(jù)分析軟件，最終給客戶提供高精度、高效率、高性價(jià)比的三維尺寸測(cè)量系統(tǒng)。我們的產(chǎn)品將高分辨率傳感器與自動(dòng)化數(shù)據(jù)獲取、強(qiáng)大的分析軟件結(jié)合在一起，為客戶提供包括實(shí)驗(yàn)室精密檢測(cè)、快速高精度半自動(dòng)生產(chǎn)線檢測(cè)以及大批量自動(dòng)上下料在線檢測(cè)等多種解決方案。截至目前我們已在中國(guó)安裝了超過(guò)2800臺(tái)設(shè)備，感謝你們的信賴和支持，MEGPHY將持續(xù)為更多的新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
金相顯微鏡
中圖SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀 數(shù)碼顯微鏡 產(chǎn)品信息
一、 產(chǎn)品描述
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
系統(tǒng)配置：
影像系統(tǒng)：1024×1024（2048×2048，2592×1944可選）
光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
XY橫向分辨率：≤0.4μm
Z軸行程：≥100mm
Z向分辨率：0.1nm
單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復(fù)性≤1nm
Z向掃描速度：≥45μm/s
可測(cè)樣品高度：≥100mm
可測(cè)樣品反射率：0.05%-
水平調(diào)整：±5°
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效
二、產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
四、性能特色
1.高精度、高重復(fù)性
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；
2）*的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得*的測(cè)量重復(fù)性。
2.一體化操作的測(cè)量分析軟件
1）測(cè)量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程；
3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；
6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。
4.主動(dòng)式隔振臺(tái)
具備空間6自由度的檢測(cè)和平衡控制，氣浮自適應(yīng)模式，能有效隔離2HZ以上振動(dòng)噪聲，其中2HZ=15dB噪聲隔振效果達(dá)到90%，5HZ=28dB噪聲隔振效果達(dá)到97%，10HZ=40dB噪聲隔振效果達(dá)到99%；承重≥150kg。
5.持續(xù)的功能優(yōu)化
圍繞客戶需求進(jìn)行持續(xù)的軟硬件升級(jí)優(yōu)化，定期更新軟件版本進(jìn)行升級(jí)，提供適度的功能定制服務(wù)。
6.雙重防撞保護(hù)措施
除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
關(guān)鍵詞：傳感器
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