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ZEP520A 電子束光刻膠

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面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/7/23 20:28:43
訪問次數(shù)825

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市藍星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務，研發(fā)設計組裝：紫外臭氧清洗機（UV清洗機），準分子清洗機，等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設備，擁有自主品牌及注冊商標。同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務, 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。應用領(lǐng)域: 半導體/微納，光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等。半導體/微納，光電/光學產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機，電子束光刻機, 激光直寫光刻機，紫外光刻機，微納3D打印機，德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機，微波離子沉積機MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀，電子顯微鏡，紫外設備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實驗耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等客戶提供儀器設備和材料。

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電子顯微鏡

產(chǎn)品簡介在線詢價

ZEP520A是一種高性能正電子束電阻，具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蝕性。適用于各種電子束工藝。

ZEP520A 電子束光刻膠產(chǎn)品信息

1. Characteristics

ZEP520A is high performance positive EB resists which show high resolution, high sensitivity and dry etch resistance.

They are suitable for various EB processes.

(1) Resolution

Shows high resolution and rectangle pattern profile.

(2) Resistance to dry etching

Shows high dry etch resistance and they are almost equivalent to that of positive photoresists generally used.

(3) Sensitivity

Shows high sensitivity.

2. Properties

7. Spin Curve

8.Dependence on Prebake Temperature

9.Dependence on Development Temperature

9.Dependence on Development Time

10. Examples of application

11. Dry Etching Resistance

12. Example of Process Conditions

13.Handling Precaution

(1) Flammable Liquid.

(2) Harmful by inhalation.

(3) Avoid contact with skin and eyes.

CAUTION: Open carefully. Use in well ventilated area. In case of contact with skin ａnd eyes, rinse immediately with plenty of water for 15 minutes and get medical attention. In case of fire use Alcohol form CO2 or dry chemical, never use water.

STORAGE: Keep capped and away from oxidants, sparks and open flame. Store at cool[32?F(0?C)～77?F(25?C)] and dark place. Use in clean room.