CCS Optima+ 型控制器適配STIL光譜共焦傳感器的點傳感器,點傳感器測量位于光軸上的點的高度,也可用來測量透明樣品的厚度。共焦位移傳感器的測量范圍根據(jù)不同光筆可選,具有垂直測量范圍從100微米到幾十mm的多種不同型號,兼容所有CL系列、OP系列與ENDO系列的不同光筆探頭,最多可實現(xiàn)20個不同的光筆在同一個控制器上互換使用。
高分辨率、高精度、高線性度
適用于各種樣品,不管是透明還是不透明,高反射還是低反射樣品
適合于各種材料表面(金屬、玻璃、半導體、塑料等等)
樣品表面無需處理即可測量
兩種測量模式:高度模式與厚度模式
多種光筆可選
采樣速度達10KHz