URE-2000S/A 型紫外雙面光刻機
主要技術參數(shù)
。曝光面積：6 英寸
。曝光波長：365nm： 20mW/cm，405nm：20-35mW/cm2
。分辨力：1μm
。對準精度：± 2μm （雙面,片厚 0.8mm），± 0.8μm （單面）
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸
。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸，厚度 0.1mm—6mm
。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
。數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口7
。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù) 400 倍，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）, 3%（Ф150mm 范圍）
。掩模相對于樣片運動行程：
X：± 5mm; Y：± 5mm;Thelta：± 6 度
。膠厚：500 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：2°
。具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。汞燈功率：1000W（直流，進口）
外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬) x2000mm（高）
設備構成與配置明細
設備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對準工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對準系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設備構成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括：
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風扇.
。光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：
。掩模樣片相對運動臺（XY）
。轉動臺（θ）
。樣片自動調(diào)平機構
。樣片調(diào)焦機構
。承片臺 4 個 （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8
。掩模架 4 個 （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）
。掩模翻轉及旋轉機構
（3）對準顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）系統(tǒng)包括：
。LED 照明及配套電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 及光學成像系統(tǒng)
。XYZ 底面對準工件臺（兩套）
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。LED 照明及配套電源
。CCD 及光學成像系統(tǒng)(2 套)
。數(shù)據(jù)采集卡
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
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。計算機系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
（7）其他附件（選配）
。真空泵一臺（無油*型）
?？諌簷C一臺（無油*型）
。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。管道
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