美Sonix超聲波掃描顯微鏡
型號(hào):ECHO LS
Sonix 非破壞超聲波掃描是一款提高生產(chǎn)、簡(jiǎn)化測(cè)試、改進(jìn)生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。無(wú)論是失效分析實(shí)驗(yàn)室的詳細(xì)分析還是生產(chǎn)線檢測(cè),Sonix 都能提供一個(gè)易于操作的軟件解決方案。
﹡WinIC Lab (詳細(xì)失效分析工具)
﹡WinIC Production (易于操作的、新型的生產(chǎn)工具,專門(mén)用于生產(chǎn)的大量分析)
Sonix ECHO LS 可檢測(cè)最小 0.05 微米的缺陷,它是一款的檢測(cè) bump, 堆疊芯片(三維封裝),復(fù)雜 flipchip 和傳統(tǒng)塑封封裝的工具.
使用 ECHO LS 生產(chǎn)軟件改進(jìn)生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率:
。很容易設(shè)定和使用
。監(jiān)測(cè)生產(chǎn)質(zhì)量
。通過(guò)/失效存儲(chǔ)
。簽定零件
Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 MHz,為能適用于所有類型的應(yīng)用和材料設(shè)計(jì)
其它主要特性
。節(jié)省潔凈室空間
。整體焊接結(jié)構(gòu)(改進(jìn)平臺(tái)的穩(wěn)定性)
。輕便(移動(dòng)方便)
。可選反射與透射同時(shí)進(jìn)行(快速偵測(cè)缺陷)
。減低高度,節(jié)省成本
。大面積的掃描區(qū)域(可放多個(gè) tray盤(pán)或大樣品)
。傾斜缸底(為能*排水)
。Z 軸探頭移動(dòng)(替代 tray 架子移動(dòng))
??沙槌鍪郊茏樱蓴[放夾具和樣品)
。設(shè)計(jì)緊湊(可節(jié)省維護(hù)成本)
。符合 CE, SEMI S2, NRTL
。在安全蓋、槽及門(mén)上有靜電涂層
規(guī)格:
X 軸
定位裝置:線性伺服馬達(dá),線性伺服馬達(dá)
精度高,無(wú)磨損,無(wú)需定期做保養(yǎng)校正
掃描速度:1000mm/秒
馬達(dá)精度:+/- 0.5 微米
線性光柵尺精度:0.5 微米
掃描面積:350mm
Y 軸
定位裝置:步進(jìn)馬達(dá)
精度: 0.25 微米
行程: 350mm
Z 軸
定位裝置:步進(jìn)馬達(dá)
精度 :0.25 微米
行程: 50mm
夾具
托盤(pán)夾具,掃描平臺(tái)以拖住整個(gè) tray 掃描
機(jī)身尺寸和重量
·31 inches X 31 inches X 48 inches
·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
·360lbs. or 163.5kg
過(guò)濾系統(tǒng)
·循環(huán)泵和 5 微米過(guò)濾器,有自動(dòng)水循環(huán)系統(tǒng),可把水中的雜質(zhì)過(guò)濾,大大減少雜質(zhì)對(duì)掃描結(jié)果的影響
超聲波工具
·DPR500 接接器,帶 L2/H4 放大器
·可選 U4 放大器
顯示器 . 雙顯示器
樣品槽:590mm×550mm×120mm
超聲波掃描頻率:1MHz~500MHz
傳感器頻率選擇:5MHz~300MHz
對(duì)于塑封器件,用到75MHz,再高頻率無(wú)法穿透塑封料
脈沖發(fā)生器前級(jí)放大器:Pluse2
WinIC 軟件
-TAMI:一次掃描可同時(shí)獲得最多 100 張 C 超掃描圖像,在需要時(shí),可自動(dòng)調(diào)節(jié)焦距,可看到 IC 所有的分界面,無(wú)需重掃,所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
-ICEBERG
-WinIC Pro (增國(guó)功能和分析)
-WinIC Offline (允許在手提電腦上分做分析)
-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易設(shè)置)