Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)
Bell Jar 35 等離子設(shè)備是一種研究設(shè)備,其專為科學(xué)試驗(yàn)所研發(fā)。該設(shè)備即適用于熱蒸發(fā),濺射 ,電子束蒸發(fā),SEM(掃描電子顯微鏡)樣品制備的金屬涂層,也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。
基本設(shè)備
。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容積:約35升
。供電電源:230V/16A
氣源
。3個(gè)質(zhì)量流量控制器(MFCs)
真空腔室
。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩,直徑315MMx高500MM
濺射源
。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板(可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口)
基材支架
。直徑140MM(可選擇旋轉(zhuǎn)型,基材加熱器,基材冷卻裝置)
??汕袚Q為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極(清洗,活化,蝕刻)
控制系統(tǒng)
。PCCE控制系統(tǒng)(Microsoft Windows XPe)
壓力測(cè)量
。Pirani
發(fā)生器
。頻率:40KHz, 功率 0-500W
13.56MHz, 功率 0-300W
。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電
。發(fā)生器為 0- 無(wú)級(jí)可調(diào)型
真空泵
。規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)
其它選項(xiàng)
備件套件,壓力計(jì),腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發(fā)生器,慢速通風(fēng)裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護(hù)/服務(wù),當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件,現(xiàn)場(chǎng)安裝,包括培訓(xùn),可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。