將X射線和CT結(jié)合
XslicerSMX-6000是島津公司采用自制的微焦點X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。
順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起,全新的CT處理引擎能夠進行全自動校準、高速拍攝以及重構(gòu)。
高放大倍數(shù)、高分辨率的圖像不會變形,從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內(nèi)部的細微構(gòu)造和缺陷。
Easy operation
采用全新UI(用戶界面)可以實現(xiàn)直觀的簡單操作。關(guān)閉拉門后即可開始檢查。即使對于初次使用者,也可以輕松地進行X射線檢查
Easy CT imaging
從X射線透視觀察到CT攝影只需點擊切換圖標。對于透視觀察難以識別的立體構(gòu)造物品,通過簡單的操作就能立刻切換到斷面觀察。
High Speed Scan & Reconstruction
設(shè)備采用了可實現(xiàn)*自動化校正與高速CT 掃描&重建的「Xslicer 」系統(tǒng)。從CT拍攝開始到顯示截面圖像最短可在3分鐘以內(nèi)完成。
通過大型顯示器以及簡單的按鍵設(shè)置可以實現(xiàn)視認性良好的直觀操作。即使對于初次使用者,也可以輕松地進行X射線檢查。
使用大型顯示器
本品采用了27英寸大型顯示器。通過簡單的按鍵設(shè)置以及高清晰度的大型檢出器,可在視認性良好的狀態(tài)下對樣品進行仔細的觀察。
用X射線圖像定位
只需點擊X射線圖像上的任意一點,就可以對載物臺進行全行程的移動控制。包括 XY·傾斜·旋轉(zhuǎn)以及變更視野大小等。
使用外觀圖像定位
本品使用了拍攝外觀圖像的專用相機,能夠?qū)φ麄€載物臺進行攝影。只需在外觀圖像點擊的希望檢查的位置,即可對載物臺進行定位。當然,操作人員也可以通過對外觀圖像進行放大或縮小,來實現(xiàn)部件級別的詳細定位。這樣,操作者的視線無需離開顯視器便可連續(xù)進行操作。
Easy operation 操作簡便
從放入樣品起只需3步即可開始X射線透視拍攝。
STEP1更換樣品
按下更換樣品按鈕
●停止發(fā)射X射線
●解除正門的電磁鎖
●載物臺會自動移動到便于更換樣品的位置
STEP2開始檢查
關(guān)閉正門,按下開始按鈕。
● 發(fā)射X射線
● 拍攝整個載物臺的外觀圖像
STEP3定位
在拍攝的外觀圖像上確定大致的觀察位置并點擊該位置點,再在X射線透視圖像上點擊鼠標,精確確定觀察位置。
由于采用了新的UI(用戶界面),全部的移動操作可通過點擊或拖拽X射線圖像來實現(xiàn)。這樣操作者的視線無需離開監(jiān)視器便可快速進行移動的操作。
<中心位置移動 >
若鼠標點擊X射線圖像的顯示區(qū)域,則移動前圖像上被點擊的位置就成為當前顯示區(qū)域的中心。
<放大>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi),從左往右拖拽鼠標,則拖拽的范圍會放大到全屏顯示。
<縮小>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi),從右往左拖拽鼠標,則畫面會按照一定的倍率縮小。
對于透視圖像上不易識別、具有復(fù)雜的立體構(gòu)造的樣品可分為不同層面進行斷面觀察。
CT的原理
當平板檢出器傾斜時,載物臺一邊進行360度旋轉(zhuǎn),檢出器一邊采集X射線透視圖像,利用采集的透視圖像進行重建演算,形成截面圖像。如果只使用X射線透視進行觀察,由于在射線方向的信息會疊加,導(dǎo)致無法分辨雙面實裝基板的正反面;但如果使用X射線CT,就可以細致地觀察每一個層面。
進行X射線透視時,射線方向(一般為樣品厚度方向)上的信息會重疊,如果樣品為雙面實裝基板,則無法分辨觀察點處于基板的哪一面,但如果使用X射線CT模式檢測,就可以對每個層面單獨進行觀察。
Smooth Switching 順暢切換
只需選擇菜單圖標便可輕松實現(xiàn)X射線透視與CT拍攝之間的切換。CT拍攝的條件設(shè)置十分簡單,只需選擇拍攝模式、拍攝角度、拍攝視野即可完成。在透視檢查中希望觀察的點可立刻順暢切換至CT觀察模式。
High Speed Scan & Reconstruction高速拍攝&高速重建
設(shè)備采用新型CT處理引擎「XslicerEngine」,過去的CT拍攝開始前必須的校正作業(yè)現(xiàn)在*自動化,真正實現(xiàn)了高速拍攝。從CT拍攝到顯示截面圖像可在3分鐘內(nèi)完成。(※簡易模式下)
另外,「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度,數(shù)據(jù)采集結(jié)束后僅需5秒便可顯示出截面圖像。
可選軟件
Image-Pro Analyzer
是功能強大的2維圖像處理軟件。
VGStudio三維圖像處理軟件P/N:S362-99202-01
將使用X射線CT拍攝的截面圖像,通過Volume lettering(VR)以三維形式顯示的軟件。具備基本的動畫制作和簡單的測量功能。
步進(STEP)移動功能
STEP步進移動功能特別適于檢查平板型以及按照方格狀排列的樣品。設(shè)置好步進參數(shù)、反復(fù)次數(shù)和縱向及橫向的移動方向后,載物臺便會進行等距離順次移動。
教學(xué)(Teaching)功能
只要事先登錄好檢查點,就可以高效率的對同一種樣品進行相同要求的檢測。
簡單明了的檢查結(jié)果
可以用一覽圖的形式顯示檢查結(jié)果。對于確認缺陷點非常方便。
預(yù)設(shè)功能
簡單登錄觀察位置和觀察條件。只需點擊登錄編號即可使用已登錄的拍攝條件進行檢查。
自動畫質(zhì)調(diào)整功能
系統(tǒng)可對各個畫面設(shè)定最合適的觀察條件。
全景圖像
只需從外觀圖像上拍攝范圍,即可輕松得到最合適的全景立體圖像。