俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000
準分子激光器: CL7000, 俄羅斯 Optosystem
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應(yīng)用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。
CL7000系列技術(shù)參數(shù):
型號 | ArF | KrF | XeCl |
波長 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 | ||
預(yù)電離 | 火花 | ||
標準脈沖能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率 |
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重復(fù)頻率 |
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脈寬 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脈沖穩(wěn)定度 | sigma < 2% | ||
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束發(fā)散角 | 1.5 x 4.5 mrad | ||
時間抖動 | < 2 ns | ||
尺寸, (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) | ||
冷卻 |
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功率 |
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氣體 | 1 premix cylinder | ||
控制接口 | RS 232, DOS/Windows |
可選功能:
1 、1000Kz型號可選
2、窄線寬型號可選,線寬0.03cm-1
3、 F2,157nm型號可選
特點:
1、陶瓷放電激光腔設(shè)計,長壽命
2、激光腔,電子系統(tǒng)一體化設(shè)計
3、功率穩(wěn)定運行模式
4、預(yù)混合供氣,使用簡單
5、計算機控制
應(yīng)用 :
1、準分子激光脈沖沉積鍍膜
2、準分子激光光柵光纖(FBG)刻寫
3、準分子激光材料加工,微納制造,光刻
準分子激光激光沉積鍍膜(PLD)系統(tǒng)示意圖
準分子激光器光纖光柵(FBG)刻寫原理圖