特氟龍PFA花籃晶舟盒晶圓盒
花籃
花籃也稱為晶圓盒,清洗盒,晶舟盒,wafer cassette,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于運(yùn)輸和存儲(chǔ)晶圓。也被稱為晶片載體,它們被設(shè)計(jì)用來(lái)容納或攜帶幾個(gè)相同尺寸的晶片,并可用于一系列材料以支持特定的應(yīng)用,如熱加工。真空棒通常用于將晶片收集和沉積在盒中,然后用盒在處理室和其他存儲(chǔ)容器之間轉(zhuǎn)移晶片。定制磁帶可以設(shè)計(jì)成與特定的系統(tǒng)或存儲(chǔ)容器接口。我司花籃能夠容納一個(gè)到多個(gè)晶圓,通常最多可容納25個(gè)晶圓用于運(yùn)輸或存儲(chǔ)。開(kāi)放式側(cè)壁結(jié)構(gòu),便于晶圓處理。
PFA花籃*性能優(yōu)勢(shì):
1. 金屬元素空白值低(鉛、鈾等元素含量<0.01ppb)
2. 耐強(qiáng)腐蝕:耐各種有機(jī)溶劑和強(qiáng)酸強(qiáng)堿
3. 無(wú)溶出和析出,純凈無(wú)污染
4. 耐高低溫:-200至260℃
5. 耐絕緣、抗氧化、防靜電
可雷雕、可裝RFID 進(jìn)行載具和材料追蹤
品名 | 耐溫范圍 | 特性 | 應(yīng)用實(shí)驗(yàn) |
PFA花籃 |
-200至260℃ |
1.耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和各種有機(jī)溶劑 2.金屬元素空白值低 3.無(wú)溶出和析出 4.耐候性佳、不易應(yīng)力變形 5.耐磨、抗靜電性 6.有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性 |
半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用、傳送晶圓。 |
PTFE 花籃
|
-200至250℃ |
花籃尺寸 | 長(zhǎng)x寬x高 | 容量 | 槽間距 | 適 用 晶 圓 |
50mm(2英寸)(有豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
50mm(2英寸)(無(wú)豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
2.5英寸 | 142(L)x79(W)x73(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2.5 inch 晶圓 |
75mm(3英寸) | 142.49(L)x94.36(W)x82.53(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 3 inch (Ø75mm) 晶圓 |
100mm(4英寸) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
100mm(4英寸)(鏤空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
104mm(4.125英寸)(鏤空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4.125″ inch(Ø104mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
125mm(5英寸) | 152.4(L)x142.88(W)x146.05(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 5 inch (Ø125mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
150mm(6英寸) | 143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
200mm(8英寸) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
200mm(8英寸)(鏤空版) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
150mm(6英寸) | 178(L)x144(W)x115(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
200mm(8英寸) | 234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm)晶圓 |
150mm(6英寸) | 177(L)x145(W)x173(H)mm | 12PCS | 9.525mm | 6 inch (Ø150mm) 晶圓 |
200mm(8英寸) | 203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 13PCS | 12.7mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
300mm(12英寸) | 350(L)x180(W)x320(H)mm | 13PCS | 10mm | 12 inch (Ø300mm) 晶圓 |
200mm(8英寸) | 200(L)x228(W)x250(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
150mm(6寸) | 143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
178(L)x144(W)x115(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 | |
177(L)x145(W)x173(H)mm | 12PCS | 9.525mm | 6 inch (Ø150mm) 晶圓 | |
200mm(8寸) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm)晶圓 | |
203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 13PCS | 12.7mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 | |
200(L)x228(W)x250(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 | |
300mm(12寸) | 350(L)x180(W)x320(H)mm | 13PCS | 10mm | 12 inch (Ø300mm) 晶圓 |
聚四氟乙烯系列產(chǎn)品:
四氟燒杯,四氟坩堝,四氟燒瓶,四氟藥匙,四氟鑷子,四氟培養(yǎng)皿,四氟蒸發(fā)皿,四氟接頭,四氟閥門(mén),四氟酶標(biāo)板,四氟試劑瓶,四氟離心管,四氟漏斗,四氟容量瓶,四氟砝碼,四氟試管架、四氟攪拌棒,四氟藥勺,四氟布氏漏斗, 四氟消解瓶等。