本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。
主要特點:
腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理。
去離子水電阻率監(jiān)控功能。
無刷電機驅動
氮氣溫度控制
轉軸氮氣密封
具有鎖蓋防護功能
故障診斷、顯示、報警功能
可提用戶特殊要求配置
本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。
主要特點:
腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理。
去離子水電阻率監(jiān)控功能。
無刷電機驅動
氮氣溫度控制
轉軸氮氣密封
具有鎖蓋防護功能
故障診斷、顯示、報警功能
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