管狀部件 過(guò)濾精度0.1~10μm *流量40~60L/min
● 過(guò)濾精度范圍寬
可以對(duì)應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1~10μm過(guò)濾精度。
● 高耐腐蝕性
過(guò)濾器沒(méi)有采用腐蝕性材料,不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。
● 排氣特性
和的烘烤加熱器并用,APIMS方式測(cè)定的排氣(水分量)能夠達(dá)到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達(dá)到0.1ppb的水平。過(guò)濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除,排氣性能更加出色。
規(guī)格: