大功率直流磁控濺射鍍膜儀

輸入電壓

220 C 50/60Hz ,使用1000 W變壓器（15 A保險(xiǎn)絲）可獲得110 V電源 

輸出功率

• 1600 VDC
• 250 W
• 150 mA max.
• 內(nèi)置過流保護(hù)(>150 mA)

樣本室

• 石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內(nèi)徑×250 mm高度

濺射頭和樣品臺(tái)

• 包括2"帶水冷套的柔性磁控濺射頭。

• 一個(gè)直徑50 mm的不銹鋼樣品臺(tái)可在0-5 RPM范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

• 一個(gè)手動(dòng)操作的遮板用于保護(hù)靶。

• 濺射頭支架可用于在非操作時(shí)保持濺射頭。

• 濺射頭和樣品臺(tái)之間的距離可在60-100mm之間調(diào)節(jié)。

• Max涂層面積: 4"直徑max. 
• 一個(gè) 空氣冷循環(huán)冷水機(jī)組10 L / min流量，包括冷卻濺射頭。

控制面板

• 6“彩色觸摸屏控制面板，PLC集成，操作簡(jiǎn)便
• 所有參數(shù)監(jiān)視和控制的一個(gè)面板：真空，電流。

極限真空壓力

• 內(nèi)置KF25真空端口
• 該系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐。（不包含）
• 用于Au、Ag、Pt、Cu、Mo靶的Vane真空泵（不包括） <1.0E-2 Torr （對(duì)空氣不敏感）
• 渦輪分子泵（不包括） <1.0E-5 Torr   用于Al、Mg、Li、Lr、Ti、Zn靶（對(duì)空氣敏感）
• 通過連續(xù)抽吸和烘烤，低真空可達(dá)到<4.0E-6托

氣氛

• 安裝一個(gè)針閥，允許Ar氣體入口實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層
• 該系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐（不包括在內(nèi)）

靶

• 包括一個(gè)2英寸銅靶用于測(cè)試，目標(biāo)尺寸：2英寸直徑×2.5mm。
• 它還可以涂覆Ag，Al，Cr，Ni，Pt，Ti，Sn，Li，Mg 等幾乎所有種類的金屬材料。  
• 警告：本機(jī)可以涂覆鋁，鉻或鎳靶 ，但在使用前請(qǐng)查看*涂層方法。
• 請(qǐng)使用RF等離子體磁控濺射涂覆氧化鋁

整體尺寸

L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm

凈重

20 kg

售后服務(wù)

貨物發(fā)出后，CYKY提供一年免費(fèi)售后服務(wù)，服務(wù)方式限于電話指導(dǎo)、視頻指導(dǎo)、郵件指導(dǎo)、配件郵寄等遠(yuǎn)程。如需要派人現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，客戶需要支付服務(wù)人員差旅費(fèi)和出差期間的工資。