DX型數(shù)字測(cè)量顯微鏡介紹
DX測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
DX型數(shù)字測(cè)量顯微鏡特點(diǎn)
●視場(chǎng)寬闊,可得清晰無(wú)閃爍正像
●高精度測(cè)量,同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度,適用于各種測(cè)量
●可選用高NA物鏡,滿足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
●照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
●利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
●各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
●快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
●高位目鏡觀察
●便捷CCD圖像成像,可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
DX型數(shù)字測(cè)量顯微鏡觀察成像
偏光觀察
觀察過(guò)濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料,如礦石和液晶。
微分干涉對(duì)比觀察
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。
暗視場(chǎng)觀察
擋住直射到物體上的光,只觀察散射光,通過(guò)高對(duì)比度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。
亮視場(chǎng)觀察
最普通的觀察方式,直接觀察從工件表面反射的光。
新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
●輔助對(duì)焦(FA)
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦(FA)提供更銳利的圖案,可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到。
對(duì)焦前端對(duì)焦后端對(duì)焦
DX型數(shù)字測(cè)量顯微鏡規(guī)格
●無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng),管鏡200mm
●傾斜角度30°,瞳孔距離55-75mm,正像
●高眼點(diǎn),大視場(chǎng)WF10/22
●鼻輪螺紋M26X0.706
●Z軸的長(zhǎng)度180mm,微動(dòng)精度0.002mm,測(cè)量精度(at20℃),XY-軸的(2.5+0.02L)um,L=測(cè)量長(zhǎng)度(mm)在沒(méi)有放物體分辨率為0.001mm
●12V50W反射鹵素?zé)?br>
●3W高亮度LED光源
●可配置輔助調(diào)焦裝置(FA)
DX型數(shù)字測(cè)量顯微鏡技術(shù)參數(shù)