儀器介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出,相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新,使得橢圓偏振法成為重要的測試手段,并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本和重要的應(yīng)用之一 。
SGC-2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)
· 儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
· 精度高、自動(dòng)控制
· 光源采用氦氖激光,波長精度高
· 儀器采用USB接口與電腦連接
· 配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要
· 軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求
SGC-2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀參數(shù)
測量范圍: | 1nm-400nm |
測量ZUI小值: | 小于等于1nm |
鍍膜折射率范圍: | 1.300-10.000 |
入射角: | 40°-90° |
方位角讀數(shù)范圍: | 0°-180° |
測量精度: | ±5nm |
厚度: | 小于等于10nm |