VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技術(shù)目前在在人臉識(shí)別、3D感測(cè)、汽車(chē)自動(dòng)駕駛、手勢(shì)偵測(cè)和VR(虛擬現(xiàn)實(shí))/AR(增強(qiáng)現(xiàn)實(shí))/MR(混合現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越受到關(guān)注,萊森光學(xué)®可以為客戶(hù)提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測(cè)解決方案:LIV光譜/功率積分測(cè)試、NF近場(chǎng)特性測(cè)試、FF遠(yuǎn)場(chǎng)特性測(cè)試、BRDF/BTDF光學(xué)材料AR/VR特性測(cè)試、VCSEL積分球,實(shí)現(xiàn)對(duì)VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測(cè)量、光譜波長(zhǎng)及功率測(cè)量、近場(chǎng)遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量等各種定制化應(yīng)用需求。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型LIV光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)由萊森光學(xué)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于3D-SENSING 脈沖激光LIV光譜測(cè)試研發(fā)而成,特別適合晶圓和模組封裝用戶(hù)在實(shí)驗(yàn)室對(duì)VCSEL/LD的研發(fā)使用,用于驗(yàn)證VCSEL/LD各個(gè)工藝過(guò)程中的光電特性。實(shí)現(xiàn)對(duì)VCSEL/LD單體、模組、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光譜波長(zhǎng)及功率測(cè)量等。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型多功能光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于3D-SENSING 脈沖激光、脈沖LD/LED測(cè)試研發(fā)而成,該系統(tǒng)可用于對(duì)VCSEL、LD/LED光電特性檢測(cè),以保證VCSEL、LD/LED脈沖激光輻射光譜滿(mǎn)足器件光學(xué)功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全應(yīng)用需求。
主要功能特點(diǎn)
● 強(qiáng)大的軟件分析功能,可以掃描測(cè)量LIV曲線,PCE曲線,溫度-峰值波長(zhǎng)-光功率曲線,可設(shè)置掃描精度和速度,可測(cè)量光電轉(zhuǎn)換效率,自動(dòng)保存測(cè)試數(shù)據(jù)
● 高精度光學(xué)分辨率光譜儀光譜范圍400-1100nm可選,光譜分辨率0.1nm,實(shí)現(xiàn)光譜峰值波長(zhǎng)和半高全寬(FWHM)測(cè)量,快可實(shí)現(xiàn)2kHz采樣速率,可掃描測(cè)量溫度-峰值波長(zhǎng)-功率曲線等
● 手動(dòng)或全自動(dòng)探針平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓或模組的自動(dòng)化LIV光譜功率測(cè)試
● 可對(duì)樣品精確控溫,可設(shè)置掃描步長(zhǎng),可實(shí)現(xiàn)高速同步觸發(fā),可預(yù)設(shè)/自定義測(cè)量
● 多線程聯(lián)用(大功率高精度電流源、高精度高速數(shù)字萬(wàn)用表、多通道同步數(shù)字萬(wàn)用表、功率探頭、光譜儀、溫度控制器等),可以實(shí)現(xiàn)光譜、功率、電流、溫度等參數(shù)的程序化、自動(dòng)化掃描測(cè)量
● 一體化工控機(jī)箱,高分辨液晶顯示,自動(dòng)化集成化操作軟件
● 采用四線測(cè)量方法,實(shí)時(shí)記錄實(shí)測(cè)電流、電壓值,功率值,測(cè)試更準(zhǔn)確
● 程序可設(shè)置連續(xù)及脈沖掃描兩種模式
● 壽命老化檢測(cè)功能:在恒定或脈沖條件下(電流、溫度),每隔時(shí)間間隔測(cè)試記錄一次光譜和功率數(shù)據(jù)
LIV測(cè)試軟件界面
VCSEL光譜隨電流的變化
LIV、I-V、I-L 掃描曲線
溫度、峰值波長(zhǎng)、光功率掃描曲線
主要技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | LS-VCS-SCI-LIV光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng) |
功率測(cè)量范圍 | ≤50W(更大功率可定制) |
光譜范圍 | 400-1100nm |
光譜分辨率 | 0.1nm(823-998nm) |
積分球 | 2吋/4吋/6吋 |
溫度范圍 | 5℃-85℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
電流源輸出范圍(脈沖電流) | 0-10A(更大范圍可選:0-50A) |
電流源精度 | 0.05% |
電流可編程脈寬 | 100μs |
電流精度 | ±0.07%+0.2nA |
電流分辨率 | 10pA |
三維位移臺(tái) | X、Y、Z可調(diào) |
探針臺(tái) | 選配 |
斜率(W/A) | Yes |
閾值電流(mA) | Yes |
內(nèi)阻(Ω) | Yes |
尺寸/重量 | 37×52×41cm,25kg |