海納光學提供納米定位設備,納米定位平臺,顯微鏡納米定位平臺,OEM納米定位平臺,Queensgate
型號:NPS-X-28C,QGNPS-TG-7A,QGNPS-X-15A,QGNPS-XY-100
PRIOR公司旗下的Queensgate系列納米定位設備(Nanopositioning Devices)擁有悠久而成功的歷史,其專家團隊擁有豐富的知識和經(jīng)驗,能夠提供一系列OEM納米定位解決方案。
Queensgate系列產(chǎn)品有納米定位設備,納米定位平臺,納米傳感器,控制器和電子設備,還包括納米定位執(zhí)行器/轉(zhuǎn)換器和軟件等各種納米技術產(chǎn)品。
一、OEM納米定位平臺
型號:NPS-X-28C納米定位平臺,30μm行程范圍, Nanopositioning
NPS-X-28C是為高速,超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動器測試應用而開發(fā)的OEM納米定位平臺。它體積小,毫秒響應時間非常適合高可靠性和高吞吐量的應用。NPS-X-28C納米定位平臺具有低移動質(zhì)量和高剛度相結(jié)合,并且提供*的帶寬。
NPS-X-28C納米定位設備采用電容式傳感器設計,提供亞納米位移測量和超過30微米范圍的閉環(huán)反饋。設備具有高精度的運動,很大程度上避免寄生運動。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器,NPS-X-28C可以實現(xiàn)毫秒響應和穩(wěn)定時間(settle times)。
NPS-X-28C 30 OEM納米定位平臺的特點:
· >30μm行程,亞納米分辨率
· *諧振頻率> 4.5KHz
· 帶寬高達1KHz
· 原位掃描和步進響應優(yōu)化
· 穩(wěn)定可靠,即插即用設施,可實現(xiàn)低停機時間。
控制器型號:
NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器
專為控制Queensgate的納米精密設備而設計。PRIOR的控制器使用現(xiàn)代DSP技術,并結(jié)合壓電驅(qū)動放大器,電容位置傳感電路和伺服控制功能,同事還使用PID(比例積分微分)反饋,*地改善了穩(wěn)定時間并弱化了機械共振的影響。虛擬前面板軟件便于用戶控制所有操作參數(shù),包括設置PID循環(huán)。
二、Nanopositioning Stages顯微鏡納米定位平臺
PRIOR的Nanopositioning Stages納米定位平臺采用閉環(huán)壓電驅(qū)動技術。產(chǎn)品規(guī)格書中列出了納米平臺對應的標準材料,我們還提供眾多替代材料,包括Super Invar,不銹鋼,鈦和鋁,應用于真空,輻射,高溫兼容等不同的場合。
Queensgate納米定位平臺采用線性或傾斜/旋轉(zhuǎn)形式,具有單軸和多軸配置,采用高性能壓電驅(qū)動,結(jié)合Queensgates*的電容位置反饋,提供完整的高性能閉環(huán)系統(tǒng)。合理設定閉環(huán)數(shù)字控制器,即可以實現(xiàn)*即插即用的互換性,使用非常方便。
QGNPS-TG-7A高性能*傾斜納米平臺
納米定位*傾斜納米平臺QGNPS-TG-7A專為需要高速,超高精度,光學檢測中的反射鏡定位、成像系統(tǒng)和激光定位設備而開發(fā)。一個的鏡子固定在傾斜基座平臺上,提供> 7毫弧度的行程,具有亞微弧度分辨率。
QGNPS-TG-7A專為高速帶寬而設計,適用于高速應用。 它采用Invar 36結(jié)構(gòu)制造,其低熱膨脹系數(shù)與大多數(shù)光學元件相匹配,可大限度地減少熱變形,并大限度地減少熱位置移動。標準系統(tǒng)提供± 3.5 mrad行程,但可根據(jù)要求提供更短距離選項。
QGNPS-TG-7A納米轉(zhuǎn)動平臺的特點:
· 每個軸向有超過7mrad的移動范圍,分辨率高達亞微弧度
· Invar 36設計匹配大多數(shù)光學元件的熱膨脹并小化任何熱位置移動
· 電容式定位傳感器提供的位置精度和準確度,高位置更新率
· 動態(tài)性能,高負載諧振頻率以及超過1KHz的超高伺服環(huán)路帶寬
· 封閉機制,高穩(wěn)定性和可靠性
· 步進時間<2ms
· 即插即用
QGNPS-TG-7A納米旋轉(zhuǎn)平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller,這款納米旋轉(zhuǎn)平臺可用于激光掃描、激光束穩(wěn)定、圖像處理和穩(wěn)定、光學濾波器/開關、掃描顯微鏡(SPM)和激光通信指向設備等領域。
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺,15μm行程
QGNPS-X-15A 微米級平臺是專為高速,超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動器測試等應用而設計,其具有小巧的尺寸和毫秒的響應時間,非常適合用于高可靠性和高吞吐量的各種應用場合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平臺具有低移動質(zhì)量(low moving mass)和高剛度,提供*的帶寬。
微米平臺內(nèi)部集成了緊湊的內(nèi)部電容式傳感器,可在超過16微米的范圍內(nèi)提供亞納米位移測量和閉環(huán)反饋。提供高純度的運動,將寄生運動減少到通常1微弧度。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器,QGNPS-X-15A可以實現(xiàn)毫秒響應和啟動時間。
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的特點:
·15微米行程,亞納米分辨率
·*諧振頻率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)
·負載為50克時響應時間為毫秒級
·原位掃描和步進響應優(yōu)化
·穩(wěn)定可靠的工業(yè)級產(chǎn)品
·低停機時間,即插即用
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的控制器型號可選NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其應用領域涵蓋磁頭和磁盤驅(qū)動器測試、干涉測量法、計量學和原子力顯微鏡探針等領域。
QGNPS-XY-100兩軸微米平臺(兩軸100x100µm平臺)
QGNPS-XY-100屬于壓電掃描彎曲導向平臺,帶有集成電容位置傳感器,能夠達到亞納米級的分辨率和重復性。QGNPS-XY-100的彎曲引導結(jié)構(gòu)能夠使兩軸微米平臺在整個100微米范圍內(nèi)將寄生角運動減少到小于25微弧度。這款兩軸微米平臺還采用了*的等靜壓安裝系統(tǒng),可確保安裝系統(tǒng)的應力得到適當?shù)尼尫?,并確定平臺的中心作為坐標參考點。
QGNPS-XY-100A雙軸100μmx100μm超級不脹鋼微米平臺——由超級殷鋼(CTE 0.3ppm K-1)制成,可大限度地減少熱漂移,這一點對于納米平臺非常重要。配備3點可調(diào)安裝座。
QGNPS-XY-100D雙軸100μmx100μm超級鋁微米平臺——具有分辨率,快速的XY-100系列動態(tài),非常具有性價比。 配備4個角落安裝。
QGNPS-XY-100特點:
· 每個軸行程大于100微米,亞納米分辨率
· 滯后和線性誤差<0.005%
· *諧振頻率> 350 Hz(NPS-XY-100A),> 500 Hz(NPS-XY-100B),> 650 Hz(NPS-XY-100D)
· 高帶寬(> 50 Hz)和快速響應時間
· 原位掃描和步進響應優(yōu)化
· 與NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可實現(xiàn)XYZ三軸平移
· 使用超級不脹鋼材料(NPS-XY-100A),鋁合金(NPS-XY-100B)或鋁(NPS-XY-100BD)
QGNPS-XY-100兩周微米平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller,其可應用于高精度顯微鏡和原子力顯微鏡,SPM,NSOM等領域。