Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯東代理美國 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機(jī),利用低溫冷媒(-100度)通過盤管,將水蒸氣吸附在冷盤上,快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機(jī)抽水氣效率高達(dá) 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣,目前 Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和真空鍍膜行業(yè),客戶通過使用 Polycold 水汽深冷泵,產(chǎn)能可增加 20% 到 *。MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應(yīng)用,可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵,羅茨泵,干泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機(jī) Polycold MaxCool 4000 H 是舊款型號PFC-1102 HC全新升級款!~
Polycold 冷凍機(jī)應(yīng)用:
Polycold 冷凍機(jī)利用新型無毒環(huán)保型冷媒,可*替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對比,冷媒可循環(huán)使用,大大降低了企業(yè)成本。Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè)。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優(yōu)點(diǎn):
低溫范圍:-98 至 -133C
真空抽氣時(shí)間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 *
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機(jī)選用無毒、環(huán)保型冷媒,可循環(huán)使用
低功率,低能耗,大負(fù)載 4000 W
Polycold MaxCool 冷凍機(jī)組成:
A:Polycold 冷凍機(jī)主機(jī)(銅環(huán)和輪子可以選配,方便運(yùn)輸)
B:外部冷凝管(外部連接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盤(低溫盤管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術(shù)參數(shù):
標(biāo)準(zhǔn)性能 | |
大負(fù)載:Watts | 4000 |
抽水汽效率(理論值):l/s | 327,800 |
保守抽速:l/s | 220,000 |
極限真空:mbar | 7 x 10-8 |
啟動壓力:atm | 1 |
除霜時(shí)間:分鐘 | 5.5 |
低溫盤管,連接管路 | |
盤管表面面積:m2 | 2.2 |
單管路: |
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雙管路: |
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標(biāo)準(zhǔn)外部連接管長度:m | 2.44 |
配套設(shè)施 | |
冷卻水流量:rate l/min. 29 C? |
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功率 kW | 19.2 |
工作噪音(大):db | 78 |
占地空間(小):m3 | 34 |
重量:kg | 533 |
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率:
美國 Brooks 旗下 Polycold 冷凍機(jī)(水汽深冷泵),超過40年的冷凍機(jī)研發(fā)及制造經(jīng)驗(yàn)。Polycold 冷凍機(jī)輔助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣,幫助企業(yè)顯著提升產(chǎn)能和鍍膜質(zhì)量。Polycold 冷凍機(jī)廣泛應(yīng)用于鍍膜和半導(dǎo)體廠商。上海伯東是美國 Polycold 冷凍機(jī)中國地區(qū)總代理,全權(quán)負(fù)責(zé) Polycold 銷售和售后維修服務(wù)。