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電子束蒸發(fā)系統(tǒng) E-beam

參考價	￥1200000-￥10000000/臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2023/8/31 13:30:30
訪問次數(shù)2260

產(chǎn)品標(biāo)簽:

電子束蒸鍍設(shè)備電子束蒸發(fā)系統(tǒng)真空鍍膜多層膜工藝 E-beam

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公司介紹主營產(chǎn)品

　伯東企業(yè)(上海)有限公司專業(yè)代理各國真空產(chǎn)品位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會社獨資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊資金為200萬美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。

　　伯東企業(yè)(上海)有限公司 ()專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管)；檢漏儀，質(zhì)譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識，并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源，HVA 高真空閥門。

　　公司一直堅持品質(zhì)*、信譽*的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進(jìn)取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團化發(fā)展。

展開顯示更多內(nèi)容

氦質(zhì)譜檢漏儀,分子泵,原子力顯微鏡,高低溫測試機,離子源,真空閥門

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進(jìn)口	產(chǎn)品新舊	全新

電子束蒸發(fā)系統(tǒng) E-beam 產(chǎn)品信息

因產(chǎn)品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準(zhǔn)

上海伯東代理進(jìn)口電子束蒸鍍設(shè)備是一種實用且高度可靠的系統(tǒng), 蒸鍍系統(tǒng)可針對量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個坩堝來達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu). 在基板乘載上針對半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計, 單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計可以控制蒸發(fā)速率, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3％. 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr. 為了獲得盡可能大的制程靈活性, 可以結(jié)合美國 KRi 離子源進(jìn)行離子輔助沉積或者預(yù)清潔等功能.
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
上海伯東電子束蒸鍍設(shè)備配置和優(yōu)點
客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓
單載片或多載片 (2” x 32個，4” x 16個，6” x 6個，8” x 4個）
薄膜均勻度小于 ±3％
具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝）
自動鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C) 或加熱 (溫度800°C) 等功能

電子束蒸鍍設(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)	Real 超高真空	超高真空	高真空
極限真空	5X10-10 Torr	5X10-9 Torr	3X10-7 Torr
腔室密封	全部 CF	一些密封圈	全部密封圈
Load-lock	標(biāo)準(zhǔn)	標(biāo)準(zhǔn)	可選
E-beam 源	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc
基板	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻
真空泵	低溫泵	低溫泵 / 分子泵	低溫泵 / 分子泵
監(jiān)控	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM
工藝控制	速率控制	速率控制	速率控制
供氣	氮氣	氮氣	氮氣

電子束蒸鍍系統(tǒng)

腔體
由 304不銹鋼所制成, 通過外部焊接 304不銹鋼管線對腔體進(jìn)行水冷
寬大的前開式門, 并有兩個窗口和窗口遮版用于觀察基材和電子束源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合美國 KRi 離子源, 濺鍍槍, 熱蒸發(fā)源, 等離子清潔...

應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)材料研究 (LED / Laser Diode)
光電元件
半導(dǎo)體元件

對傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來實現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來, 甚至是高熔點的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計, 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍設(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 107

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