技術(shù)參數(shù) 1.測(cè)量箱有效內(nèi)部尺寸:
2.視準(zhǔn)器:可編程的,電機(jī)控制的4個(gè)視準(zhǔn)器尺寸:ø0.2mm ø0.6mm ø1mm ø2mm 3.探測(cè)器:Si-PIN-二極管; Peltier-冷卻 (約 -30°C). 無須液氮冷卻 4.能量分辨率:180 eV 5.元素范圍:鋁 (Z=13) to 鈾 (Z=92) 6.測(cè)量距離修正方法:的DCM-方法 (Distance Controlled Measurement距離控制測(cè)量) 允許工件表面凹陷處的測(cè)量 | ||||||||||
主要特點(diǎn) 1.針對(duì)歐盟的RoHS指令開發(fā)的有害物質(zhì)測(cè)量設(shè)備。 | ||||||||||
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