1 統(tǒng)依據(jù)的標準:
1、高純氣標準
GB/T 28726-2012氣體分析 氦離子化氣相色譜法
GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 28123-2011 《高純氦》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 3634.2-2011 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 1 23983-2009《高純二氧化碳》
2、電子氣標準 氦離子化氣相色譜儀
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 高純氨》 GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 *》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》 GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》 GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》 GB/T 18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
GC-126PDD超純氣氦離子化氣相色譜儀
GC-126PDD超純氣氦離子化氣相色譜儀適用于超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化(PDHID)檢測器;采用克柔姆公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù),其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。
高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程,不僅需要高靈敏的檢測器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié),克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點,并給出了所有難點的解決措施,使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb-ppt級的雜質(zhì)的分析。
產(chǎn)品的特點:
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應(yīng)用氣體分離色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)
◆ 采用本公司技術(shù)的可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 采用本公司技術(shù)的5A分子篩填充色譜柱子
◆ 采用本公司技術(shù)的超高純氣體分析檢測系統(tǒng)與方法
◆ 采用本公司技術(shù)的高純、超高純氣體分析用的進樣裝置
◆ 工藝流程采用多路精密零死體閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與鍍金接頭
◆ 本公司研制的色譜填充采用VCR接頭增強氣密性
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
技術(shù)特點:
嵌入式32位處理器及多CPU系統(tǒng)開發(fā),IT接口相關(guān)技術(shù),實現(xiàn)溫度參數(shù)自動設(shè)置、檢測器選擇、檢測器操作參數(shù)和數(shù)據(jù)化自動調(diào)零功能、靈敏度和極性數(shù)字化設(shè)置。
全中文菜單操作界面,同時可顯示多組參數(shù),操作非常簡單方便。
計算機反控功能,可以通過計算機操作儀器內(nèi)部所有功能(通過USB接口實現(xiàn))。
高精度計時器集8路外部事件控制, 可集成多個文件對應(yīng)存儲。
無需外接工作站并提供模擬輸出接口。
氦離子化氣相色譜儀
柱溫箱:
◆溫度范圍:室溫加5℃- 400℃
◆控制精度:±0.1℃
◆程序升溫:9階
◆zui大升溫速率:60℃/min
◆雙通道色譜柱流失補償
氣體進樣裝置:氦離子化氣相色譜儀
◆ 高純、超高純氣體色譜分析用的進樣裝置,其特征在于包括不銹鋼微量調(diào)節(jié)針閥、不銹鋼氣管、樣品過濾器、進樣閥、安全放空調(diào)節(jié)閥、不銹鋼計量針閥、壓力指示、流量計等;原理為取樣系統(tǒng)串聯(lián)進樣閥的定量管,整個放空、恒壓、穩(wěn)流調(diào)節(jié)裝置設(shè)計在取樣管的后部,以確保定量管內(nèi)的高純、超高純氣體不受干擾;整個高純氣體取樣處于樣品氣恒壓穩(wěn)流狀態(tài)下,可防止空氣的滲透,同時保證管內(nèi)避的純凈度。
檢測器:
◆PDHID氦離子化檢測器
基線噪聲:0.010mV
基線漂移:0.020mV/30min
檢測限:4.74×10-12mol/mol
定量重復(fù)性:≤1.50%
產(chǎn)品的成套配置:
儀器名稱
型號規(guī)格 廠家 數(shù)量 報單價 合計價 備注
氦離子化氣相色譜儀
GC-126PDD /杭州克柔姆 1臺
配備PDHID氦離子化檢測器
多柱箱系統(tǒng) 上分廠/ 克柔姆 1套 可以根據(jù)分析的需要設(shè)置不同的柱箱溫度,以滿足樣品分離的需要
中心切割與 反吹系統(tǒng):
吹掃十通閥1只;吹掃六通閥3只. VALCO /克柔姆 1套
配備4個帶吹掃保護氣路的*閥:一次進樣,
無需更換色譜柱即可完成對氫、氧、氮、氬、氦、氪、氙、
二氧化碳等多種樣品中痕量雜質(zhì)的分析。
采用VCR接頭/色譜柱: Hayesep Q ; Hayesep R ; MS 5A * 2支 克柔姆 3根 可分離樣品中的H2、O2
N2、CO、CO2、CH4等雜質(zhì)
載氣純化器:
HP-2 VALCO 1臺 雜質(zhì)含量≤10ppb
載氣過濾器 VALCO 1個 2μm孔徑
樣品過濾器 VALCO 1個 2μm孔徑
標準氣體 1套 含:H2,O2,Ar,N2,CO,CH4,CO2
高純氦氣:40L 1瓶 自備 / 純度不低于99.999%
高純氫氣:40L 1瓶 自備 / 分析高純氧時做為還原氣使用
高純氮氣:40L 1瓶 自備 / 作為自動閥的驅(qū)動氣使用
無死體積
取樣閥帶吹掃 克柔姆 4個取樣時防止空氣滲入,帶放空結(jié)構(gòu)設(shè)計
載氣兩級
不銹鋼減壓閥 HORO 1個 HORO兩級減壓穩(wěn)流
高純氣色譜工作站 克柔姆 1套 自動控制切割、反吹、進樣等過程;并實現(xiàn)對色譜主機的操作控制
技術(shù)參數(shù):
GC-126PDD氦離化氣相色譜儀對6種雜質(zhì)的檢測限(ppb)
雜質(zhì)種類 H2 O2 N2 CO CH4 CO2
檢測限 1 1 1 5 1 1
超純氣氦離子氣相色譜儀
主要特點:
一、 中心切割與反吹系統(tǒng):
GC-126PDD采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng),該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成,通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測:
VALCO吹掃型十通閥:
GC-126PDD所配備的均為*VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程:
二、 HP-2氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
zui大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
三、 無死體積取樣閥
四、 載氣減壓閥
五、 背壓閥控制的進樣技術(shù)
六、 具備反控功能的GC-126氣相色譜儀
Chrom-2010PDD色譜工作站
其主要 性能參數(shù)及功能如下.
硬件性能:氦離子化氣相色譜儀
通訊接口:USB接口
高精度:24位的高精度A/D,分辨率±1uv。
輸入通道:外置數(shù)據(jù)采集盒,輸入通道2個。
輸入電平范圍:-2v至+2v
采樣頻率:zui多50次/秒.
動態(tài)范圍:106(1μv為zui小單位)。
積分靈敏度:1μv•sec(即面積的個位數(shù))。
線性度:<±0.1%。
重現(xiàn)性:0.06%。
軟件功能:
實時性:真正WINDOWS 環(huán)境下的實時數(shù)據(jù)采集,RS232接口雙通道數(shù)據(jù)采集,采樣同時可對采樣數(shù)據(jù)實時進行分析、存儲,實時顯示色譜峰保留時間??呻S時設(shè)定采樣頻率,改變峰寬,斜率,停止時間等參數(shù)。
靈活的峰識別和處理能力:自動識別拖尾峰,重疊峰,鋸齒峰和前后肩峰等,自動基線切割??赏ㄟ^調(diào)整參數(shù)和時間程序自動重分析,可通過手動修正方式進行色譜峰的識別、刪除及調(diào)整基線切割。另外可以對譜圖任意重分析,放大,移動,逐點跟蹤,添加組份名,譜圖復(fù)制,多譜圖比較,基線扣除等。
輕松定性(任意多點校準):可自動或手動編輯峰鑒定表。自動計算校正因子,提供單點,任意多點平均,任意多點校正,并直觀地顯示校正曲線。
定量方法:提供歸一法,內(nèi)標,外標,修正歸一法,帶比例的修正歸一法,指數(shù)法六種常用的定量計算方法。
自定義分析方法:用戶針對某種樣品分析而設(shè)定的方法及參數(shù)、時間程序、峰鑒定表等可以方便的保存到用戶自命名的方法文件中。因此針對不同的樣品可以調(diào)用不同的方法文件。
多種格式數(shù)據(jù)存儲:用戶可以自命名保存歷次分析的譜圖、結(jié)果等,并且可將譜圖文件,結(jié)果文件保存為文本格式或?qū)С龅紼XCEL中,利用別的作圖工具重新作圖或重新計算。也可直接復(fù)制譜圖到剪貼板然后粘貼到用戶需要的文檔中。
靈活的打印功能:可預(yù)覽及打印譜圖、結(jié)果報告、分析參數(shù)(包括峰鑒定表)等,用戶可自動設(shè)置打印報告頭,調(diào)整打印方式,滿足您各種打印要求。
操作直觀便捷:簡潔清晰的全中文圖形界面, 方便用戶順利完成操作。
GC-126PDD標氣分析報告氦離子化氣相色譜儀