德國leybold單級油封旋片真空泵詳細資料
萊寶的SOGEVAC系列單級油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:16m3/h~1400m3/h
極限真空度:
SV16,SV25,SV40,SV65,SV100的極限真空度為:
<0.5mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強); <1.5 mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
SV200,SV300,SV500,SV630,SV750,SV1200,SV1400的極限真空度為:
<8×10-2mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強); <7×10-1mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時
萊寶的SOGEVAC系列單級油封旋片泵的主要的點有:
1、*的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動防返油閥。
6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經(jīng)濟方便
7、低噪音,低振動。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
TRIVAC C是雙級油封式旋片真空泵,TRIVAC C的高效,可靠,低噪音,易維護的設(shè)計特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用,也可做為大型真空系統(tǒng)的前級泵使用。
- 抽速:8m3/h~60m3/h
- 極限分壓強:10-4mbar c/s
- 內(nèi)置防返油閥
產(chǎn)地:歐瑞康萊寶 天津
D8C | D16C | D30C | D40C | D60C | ||
Nominal Pumping Speed (50Hz) | m3/h | 9.25 | 19.48 | 37.01 | 49.44 | 74.02 |
Pumping Speed | m3/h | 8.11 | 17.01 | 32.24 | 42.99 | 64.37 |
Nominal Pumping Speed (60Hz) | m3/h | 11.10 | 23.39 | 44.41 | 59.33 | 88.82 |
Pumping Speed | m3/h | 9.65 | 20.33 | 38.64 | 51.78 | 72.23 |
Ultimate Partial Pressure Without GB | mbr | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 |
Ultimate Total Pressure Without GB | mbr | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
Ultimate Total Pressure With GB | mbr | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 |
Water vapour tolerance | mbr | 30 | 20 | 40 | 20 | 25 |
Connecting inlet and exhaust | DN | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 |
Noise (sound pressure level at 1m with GB closed/open(50Hz)) | db | 54/56 | 55/58 | 58/60 | 58/60 | 58/60 |
Oil filling (Max/Min) | 1 | 1.1/0.7 | 1.5/1.0 | 3.7/3.2 | 5.0/4.4 | 5.0/4.5 |
Weight without oil filling | Kg | 27 | 31 | 69 | 83 | 84 |
Ambient temperature (Max/Min) | ℃ | 40/10 | 40/10 | 40/10 | 40/10 | 40/10 |
Motor power 1Ph.220V.60Hz | W | 550 | 750 | |||
Total Length | mm | 471 | 560 | |||
Catalog | 31046 | 31050 | ||||
Motor power 3Ph.380V.50/60Hz | W | 550 | 750 | 1500 | 1500 | 2200 |
Total Length | mm | 500 | 540 | 650 | 760 | 780 |
Catalog | 31018 | 31091 | 31108 | 31159 | 31158 |
C01 TRIVAC E and B 系列雙級油封旋片泵
歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:1.6m3/h~65m3/h
極限真空度:10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強)
2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強)
5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強)
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar
歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級油封旋片泵的主要特點:
1、內(nèi)置油泵,對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動防返油閥,可在停泵時自動將進氣口截止,防止返油。
3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、*的耐水蒸汽能力。
另外,歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
- 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX,ATEX認證防爆泵。
- 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
C02 SOGEVAC 系列單級油封旋片泵
歐瑞康萊寶的SOGEVAC系列單級油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:10m3/h~1400m3/h
極限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B極限真空度為
<0.5mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)
<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的極限真空度為
<8×10-2mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)
<7×10-1mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時
歐瑞康萊寶的SOGEVAC系列單級油封旋片泵的主要特點有:
1、*的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動防返油閥。
6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經(jīng)濟方便。
7、低噪音,低振動。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
歐瑞康萊寶的SOGEVAC BI 系列單級油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
SV16BI | SV40BI | |
抽速: | 16m3/h | 40m3/h |
排水蒸氣能力: | 0.03公斤/小時 | 0.2公斤/小時 |
極限真空度: | ≤0.05mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強) ≤0.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強) |
SOGEVAC BI單級油封旋片泵的主要特點有:
1、極限壓強更低。
2、在低壓強下仍能保持高的抽速。
3、適用于分析儀器、實驗室、照明、汽車等。
C03 活塞式和渦旋式干泵
ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場的一種干式泵。它可以滿足除半導(dǎo)體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對于其他干式泵來說,結(jié)構(gòu)簡單,價合理,因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術(shù)參數(shù):
抽速:14m3/h~30m3/h
極限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力:25mbar(zui大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特點:
1、結(jié)構(gòu)簡單,易于操作和維護;
2、工作過程中不產(chǎn)生粉塵;
3、耐粉塵,排水蒸氣能力強;
4、低能耗,堅固耐用,可靠性高;
5、可以選配變頻器增大抽速;
典型應(yīng)用:質(zhì)譜儀,電子顯微鏡,照明,鍍膜,loadlock,無油高真*級泵等。
SC渦旋式真空泵
目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學工業(yè)的發(fā)展迅速,對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求,歐瑞康萊寶推出了SC系列渦旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特點:
·可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產(chǎn)品SC5/15/30D;
·高極限真空,zui低可達0.01mbar;
·低噪聲;
·低振動;
·允許進氣壓力大;
·重量輕;
·能耗低;
2、應(yīng)用范圍:
·電子束焊接;
·激光;
·檢漏系統(tǒng);
·加速器/同步加速器;
·表面分析儀;
·STM’s;
·ELMI;
·小型渦輪泵組;
·搬送室;
C04 DIVAC 系列膜片泵
單級膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:100mbar
- 噪音:51~60DB
雙級膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:8mbar
- 噪音:47~52DB
DIVAC系列的主要特點:
1、無油真空泵。
2、可選配氣鎮(zhèn)閥,耐水蒸氣能力強。
3、所有與介質(zhì)接觸的部件均由PTFE(聚四氟乙烯)和PVDF(聚偏氟乙烯)制成,因而具有*的耐腐蝕性和耐溶劑性??梢杂脕沓槌魏位瘜W介質(zhì)。
4、緊湊,體積小。
5、易于清除凝聚物,易于更換膜片。
低極限真空、低震動的膜片泵DIVAC
0.8T,0.8LT,2.5T,2.5VT,3.6LT,4.8VT
- 抽速:0.8~4.8m3/h
- 極限真空:0.5~3mbar
- 噪音:49~55DB
特點:
1、極限壓強低,抽速大。
2、低震動,低噪音。
3、可用于歐瑞康萊寶TW系列的前級泵。
C05 ScrewLine 系列螺桿式干式壓縮真空泵
歐瑞康萊寶公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵,它是一種全新的設(shè)計,是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。
技術(shù)參數(shù):
抽速:250~630m3/h
極限真空度:<0.01mbar
電機功率:15KW
噪音:75dB
冷卻方式:風冷
主要特性及優(yōu)點:
1、無油真空泵
由于真空腔內(nèi)沒有油潤滑,因此粉塵不會存留在泵腔內(nèi),而是隨著氣體從排氣口排出泵外。
不需處理廢油,環(huán)保。
2、無油壓縮真空泵
由于氣體在泵內(nèi)有壓縮,因此消耗功率低。
3、泵腔內(nèi)沒有任何的內(nèi)部閥門,排除了因內(nèi)部閥門而產(chǎn)生的故障的可能性,因此耐粉塵和焦油能力強。
4、泵腔外殼可方便地拆卸,便于清洗螺桿(當必要時),并可在客戶現(xiàn)場由用戶自己完成。
5、螺桿表面有非常堅硬的涂層。
6、泵腔內(nèi)部無軸承和密封,大大降低了故障率。
7、螺桿內(nèi)部中空,有冷卻裝置,螺桿壽命長。
8、動密封為無接觸的齒輪環(huán),密封無接觸,無磨損,無需維護和更換。
9、易于維護的設(shè)計理念,日常的簡單維護極其方便。
10、SP Guard監(jiān)控器
可以在泵需要維護前報警,使得維護只有在必須時才進行。
典型應(yīng)用:
工業(yè)爐——冶煉和熱處理
真空焊接——電子束焊等
鍍膜——大面積鍍膜等
真空干焊——食品和藥品的干焊
包裝工業(yè)
空間模擬
科研領(lǐng)域
附件:
出口消音器
羅茨泵連接器
SP Guard監(jiān)控器,監(jiān)控所有重要的運行參數(shù)
粉塵過濾器
C06 E and DK 系列滑閥泵
歐瑞康萊寶生產(chǎn)的滑閥泵包括單級滑閥泵E250和雙級滑閥泵DK200。它們的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:
250m3/h(E250)
200m3/h(DK200)
極限真空度:
E250:4×10-2mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強)
5×10-1mbar(開氣鎮(zhèn)全壓強)
DK200:5×10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強)
4×10-3mbar(開氣鎮(zhèn)全壓強)
耐水蒸汽能力:
E250:60mbar
DK200:26mbar
主要特點:
1、內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥,高耐水蒸汽能力;
2、震動低;
3、堅固耐用,適合于*連續(xù)可靠的運行;
4、不需要水冷;
5、齒輪箱為單獨油路潤滑,這樣就避免了對泵腔內(nèi)潤滑油的污染。
C07 RUVAC 系列羅茨泵
在250~2050米3/小時的抽速范圍內(nèi),歐瑞康萊寶的羅茨泵的電機有直聯(lián)式(WA/WAU)和封閉式(WS/WSU)兩種規(guī)格,每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。
為了滿足某些行業(yè)中對大抽速羅茨泵的需要,歐瑞康萊寶還有另一個系列的大型羅茨泵(RA系列),其抽速為3900~13000米3/小時。
歐瑞康萊寶的RUVAC羅茨泵與的變頻器配合使用,可使泵的抽速增加(zui大)*,從而彌補了各規(guī)格之間的抽速空擋。
另外,歐瑞康萊寶還提供專門用于激光應(yīng)用的羅茨循環(huán)風機。
歐瑞康萊寶羅茨泵的主要特點:
歐瑞康萊寶所有規(guī)格的羅茨泵均采用風冷,無需循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
WAU/WSU系列可以在大氣下啟動,既可簡化系統(tǒng)的控制程序,又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機組的抽速。
在很寬的壓強范圍內(nèi),即使在極限壓強附近,都具有很高的抽速。
加工精度高,可將前級真空度提高一個數(shù)量級。
震動小,噪音低。
有立式泵和臥式泵可供選擇。
WS/WSU系列為CANNED電機,與無油前級泵組合,可組成無油真空機組。
可以與變頻器配合使用,以增加或降低抽速。
C08 RUTA 羅茨泵組
隨著真空技術(shù)和真空應(yīng)用的發(fā)展,新的真空問題不斷涌。在這種情況下只是為客戶提供真空元部件已越來越不能滿足客戶的要求。
萊寶公司作為一個專業(yè)的真空設(shè)備供應(yīng)商,始終把為廣大客戶提供真空解決方案視為己任。在提供具有*秀品質(zhì)的真空元部件的同時,還為客戶度身定做,提供既能滿足真空要求,又的*解決方案--真空泵組。
RUTA 羅茨泵組的抽速由250到32000米3/小時,可以分為兩極泵組和多級泵組,極限真空度可達10-4mbar,乃至更高。除標準產(chǎn)品外,根據(jù)不同工藝的需要,還可以為客戶專門設(shè)計定制應(yīng)用于某些特殊用途的泵組,并在系統(tǒng)中加裝各種附件,如冷凝器、粉塵過濾器、真空計、真空閥、壓力控制元件,溫度控制元件等。另外,還可以耕具工藝過程,設(shè)計可實現(xiàn)全程自動控制的電控柜。
C09 渦輪分子泵系列
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格,抽速自50至1100升/秒,極限真空度為<10-10mbar。
其主要特點為:
- 陶瓷軸承為脂潤滑,無維護運行時間長。
- 允許任意角度安裝。
- 有水冷和風冷兩種選擇。
- 對H2的壓縮比大。
- 無油真空泵,可用來產(chǎn)生潔凈的超高真空。
TW系列復(fù)合分子泵
抽速: 70 ~ 1600 升 / 秒
極限真空度: 10 - 9 mbar
zui大允許前級壓強: 6 ~ 14mbar
主要特點有:
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型,消除了葉片應(yīng)力,使得前級耐壓高達 14mbar ,并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風冷系統(tǒng),使其在絕大多數(shù)工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計,避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設(shè)計為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。
- 軸承為油脂潤滑,無維護運行時間長。
- 無油真空泵,可用來產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護時提前預(yù)警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦, PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò),以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù),以及儲存單元的運行記錄;并可根據(jù)需要對某些參數(shù)進行修改,如頻率等。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求,使得系統(tǒng)總體造價降低。
新一代數(shù)字化控制,五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT
抽速: 1500l/s ~ 3200l/s
• 五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),自平衡性能好全無油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
• 轉(zhuǎn)子采用高強度鋁合金,一次高速銑削成形,應(yīng)力小,強度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎;轉(zhuǎn)子*運行溫度可高達 120 ℃ 。
• 轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
• 較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體;
• 降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,降低轉(zhuǎn)子運行溫度,有利于延長轉(zhuǎn)子壽命;
• 葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
• 保護軸承為陶瓷軸承,壽命長( >600 次),無需更換保護軸承。
• 高真空端連接采用 ISO-F ,連接螺栓強度高,充分保障安全。
• 智能化電源,無需 UPS 。
• 帶拖動級,前級耐壓在 2mbar 以上。
• 分子泵運行溫度可調(diào)節(jié),使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
• 的數(shù)字控制技術(shù)
• 運行速度、溫度可設(shè)置;
• 運行數(shù)據(jù)記錄存儲,提供多達 180 條運行信息;
• 磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數(shù)字化控制,信號處理速度快,系統(tǒng)反應(yīng)時間短
• 轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動平衡變化時,磁場補償反應(yīng)時間短;
• 在氣流長時間( 2 分鐘以上)過大,而使泵負載過高,發(fā)熱量過大時,泵速會快速自動調(diào)節(jié),使泵溫下降到正常水平。
• 控制器與泵無識別性,可互換。
• 免維護。
典型應(yīng)用:
適用于
• 所有半導(dǎo)體主要制程:刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入
• 科研領(lǐng)域
• 鍍膜
另外,萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。
C10 真空系統(tǒng)及應(yīng)用解決方案
隨著真空技術(shù)與真空應(yīng)用的發(fā)展,新的真空應(yīng)用要求不段涌現(xiàn)。在這種條件下只為客戶提供真空部件已經(jīng)越來越不能滿足客戶的需求了。
歐瑞康萊寶作為一個專業(yè)的真空設(shè)備供應(yīng)商始終把為客戶提供真空解決方案為己任。在為客戶提供具有*秀品質(zhì)的真空元部件的同時,又利用歐瑞康萊寶多年的真空應(yīng)用經(jīng)驗和*的真空技術(shù)為客戶量身訂做既能滿足真空要求,又的*解決方案—真空系統(tǒng)。
RUTA 羅茨泵組
RUTA 羅茨泵組的抽速由250到32000米3/小時,可以分為兩極泵組和多級泵組,極限真空度可達10-4mbar,乃至更高。除標準產(chǎn)品外,根據(jù)不同工藝的需要,還可以為客戶專門設(shè)計定制應(yīng)用于某些特殊用途的泵組,并在系統(tǒng)中加裝各種附件,如冷凝器、粉塵過濾器、真空計、真空閥、壓力控制元件,溫度控制元件等。另外,還可以根據(jù)工藝過程,設(shè)計可實現(xiàn)全程自動控制的電控柜。
PT系列分子泵機組
分子泵及其前級泵的的選型比較復(fù)雜需要考慮很多因素如:被抽氣體,工作真空度,腔室材料,工藝氣體量等。同時根據(jù)生產(chǎn)和科研的要求還要選用不同的配件和控制系統(tǒng)。歐瑞康萊寶根據(jù)多年的經(jīng)驗為客戶提供了多種組合的分子泵系統(tǒng),為客戶提供了成型的解決方案。
標準分子泵系統(tǒng)(分子泵與雙級旋片泵組合)
PT50/PT151/PT361
干式分子泵系統(tǒng)(分子泵與前級干泵組合)
PT70 Dry/PT 70 Compact/PT300 Dry/PT301 Dry
此外還可以根據(jù)客戶需要定制分子泵系統(tǒng)。
擴散泵系統(tǒng):
在冶金,熱處理和鍍膜等領(lǐng)域,歐瑞康萊寶可以為客戶量身定做各種規(guī)格的擴散泵組。
歐瑞康萊寶真空本地化的泵系統(tǒng)和根據(jù)中國客戶的要求,德國工廠設(shè)計的標準為中國客戶設(shè)計組裝各種真空泵系統(tǒng),并可以為客戶提供專業(yè)的真空技術(shù)咨詢和解決方案。
C11 DIP 系列擴散泵
歐瑞康萊寶于九十年代研發(fā)的型的DIP系列大口徑擴散泵,對傳統(tǒng)擴散泵在許多方面做了重大改進,其主要特點:
- 抽速大;抽速范圍為3000~50000升/秒(ISO/DIN標準,既中國國家標準),共分六種規(guī)格;
- 泵壁有凹槽,冷卻水管臥在凹槽內(nèi),增大了接觸面積,冷卻效果好;
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板并使用DIFFELEN普通礦物油,其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鐘,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鐘;
- 極限真空度高;低于10-8mbar;
- 重量輕;50000升/秒抽速的DIP50000擴散泵的重量僅為560公斤;
- 采用插入擴散泵內(nèi)部的多支加熱棒加熱,熱傳輸效率高,因此預(yù)熱、時間短;對于抽速為3000-20000升/秒的泵,預(yù)熱時間為小于25分鐘;30000和50000升/秒的泵,預(yù)熱時間小于30分鐘;
- 可在不停泵的情況下更換擴散泵的加熱棒;
- 裝有過熱保護裝置,防止泵油過熱;
- 通過油觀察窗可隨時觀察油是否變質(zhì);
- 有注油口和放油口,換油時無須把擴散泵從真空系統(tǒng)中拆下;
- zui大允許前級壓力高,為0.6mbar。
- 在冶金、熱處理和鍍膜等領(lǐng)域,歐瑞康萊寶為客戶度身訂做各種規(guī)格的擴散泵組。
C12 Cryopumps,Cryogenics 系列低溫泵
低溫泵是氣體捕集泵,它的工作原理包括低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕獲。
歐瑞康萊寶的COOLVAC系列低溫泵的抽速從800到60000升/秒(對氮氣),共分七個規(guī)格,可用于產(chǎn)生高真空和超高真空,10-13~10-11mbar。
歐瑞康萊寶的低溫泵的主要特點有:
·與相同口徑的其他泵比較,低溫泵具有zui大的抽速。對水蒸氣抽速*。
·無碳氫化合物的污染,可以用來產(chǎn)生潔凈的高真和超高真空。
·只有在低溫泵啟動和再生時才需要前級泵。
·歐瑞康萊寶低溫泵的MULTIPLE運行方式可以允許兩臺或兩臺以上的低溫泵同時工作,而共用一臺壓縮機。
·歐瑞康萊寶的所有低溫泵全部裝有安全閥,如發(fā)生如斷電等意外,當泵內(nèi)壓力超過大氣壓150mbar時,安全閥自動打開。
歐瑞康萊寶的COOLVAC系列低溫泵采用的是電加熱、全程自動控制的再生方式。它的主要優(yōu)點有:
1、電加熱的再生方式無需氮氣,其運行成本比吹氮氣的再生方式低60%;
2、在歐瑞康萊寶低溫泵的再生過程中,溫度自第二級冷頭向*級冷頭逐漸升高,氣體依次排出,避免了吹氮氣再生中氣體同時放出后產(chǎn)生腐蝕性或危險性氣體的可能(如H2和O2,H2O和CO2);
3、自動控制器在再生全過程中對泵內(nèi)壓力及溫度分布進行自動控制;
4、再生迅速,耗時小于40分鐘;
5、再生*,經(jīng)50次快速再生后才需要一次*再生。而其他的低溫泵每次進行5次快速再生后就要進行一次*再生。
COOLPOWER冷頭
歐瑞康萊寶生產(chǎn)的COOLPOWER系列冷頭可廣泛用于低溫泵的冷卻,核磁共振中的超導(dǎo)磁體等超導(dǎo)材料的冷卻,樣品和精密儀器如光譜儀、紅外和伽馬射線探測儀的冷卻等。它的主要特點有:
1、制冷迅速,操作方便。
2、氣態(tài)氦作為工作介質(zhì),無需液態(tài)冷媒。
3、制冷能力強。
4、工作范圍:
二級冷頭zui低溫度:4.2K~20K
一級冷頭zui低溫度:28K~80K
COOLPAK壓縮機
歐瑞康萊寶生產(chǎn)的COOLPAK是專門為低溫泵和冷頭提供壓縮氦氣的壓縮機。與其他同類型的產(chǎn)品不同,它采用的是蝸旋式工作原理,因此體積小,重量輕,耗電量和冷卻水量低,噪音和振動小,壽命及無維護時間長,操作簡便,通過計算機可遠程控制。COOLPAK MD系列可以同時供幾個冷頭工作。