飛創(chuàng)精密直線模組在電子半導(dǎo)體激光檢測行業(yè)的 技術(shù)應(yīng)用

飛創(chuàng)FMC H/L U/R高精高速單軸直線電機模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±1um、L±50nm
zui大運行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G
應(yīng)用行業(yè) : 電子、半導(dǎo)體、激光、檢測

飛創(chuàng)FMCL H/L U/R 高速高精單軸直線電機模組

FML 系列 H/L U/R單軸直線模組
有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±0.5um、L±10nm
zui大運行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G

飛創(chuàng)FMS H/L U高速高精單軸直線電機模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±0.5um、L±10nm
zui大運行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G
應(yīng)用行業(yè) : 電子、半導(dǎo)體、激光、檢測

飛創(chuàng)XY軸系列直線電機模組

有效行程：300 * 180 mm
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±3um
X-Y行走平行度：±3um
zui大運行速度：800 mm/s
zui大加速度：15m/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子、半導(dǎo)體行業(yè)

飛創(chuàng)Z軸系列直線電機模組

Z軸需要選擇合適的恒力氣彈簧來配平
有效行程：150mm
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±3um
zui大運行速度：800mm/s
zui大加速度：500mm/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子、半導(dǎo)體行

飛創(chuàng)大理石系列直線電機模組

技術(shù)參數(shù)

有效行程：400*200*100
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±2um
zui大運行速度：1000mm/s
zui大加速度：20m/s2
三軸正交垂直度：±5um
應(yīng)用行業(yè)：激光行業(yè)、汽車行業(yè)

飛創(chuàng)龍門系列直線電機模組

有效行程：300*180
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±5um
zui大運行速度：1000mm/s
zui大加速度：20m/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子行業(yè)工件裝配機械手

直線模組，也叫線性模組，是一種將直線運動平臺模塊化的運動單元，把導(dǎo)軌系統(tǒng)和傳動系統(tǒng)進行精密的組裝，集成到一個單元中。這種系統(tǒng)集成極大地方便了工程師的設(shè)計選型工作，讓設(shè)備的組裝變簡單化、模塊化。市面上常見的機械傳動系統(tǒng)有這幾種：絲杠，同步帶，齒輪齒條；這些傳動系統(tǒng)的驅(qū)動，通過旋轉(zhuǎn)電機/減速機來實現(xiàn)；這些機械傳動系統(tǒng)，由于傳動鏈比較長，系統(tǒng)累計誤差等原因，導(dǎo)致傳動精度和響應(yīng)速度不能滿足某些應(yīng)用的要求。

而如果用直線電機來實現(xiàn)直接驅(qū)動，就省去了減速機，絲杠/皮帶/齒輪齒條等傳動鏈中間環(huán)節(jié)，提高了系統(tǒng)的傳動精度和響應(yīng)速度；集成了直線電機的直線模組，被稱為直線電機模組或直線電機滑臺：

直線電機在工業(yè)設(shè)備中的應(yīng)用，主要在機床方便比較突出，近幾年，上對數(shù)控機床采用直線電機顯得特別熱，究其原因是，傳統(tǒng)機床的驅(qū)動裝置絲桿驅(qū)動，絲桿驅(qū)動本身具有：長度限制，機械間隙，摩擦后精度問題等，而直線電機可以實現(xiàn)超高的精度，速度是絲杠的10倍甚至更多。

直線電機特點：

高速 – zui高可達 10 m/s，平均值3 m/s

高精度 – 微米（亞微米級）級定位精度.
高響應(yīng)

剛性- 比一般機械系統(tǒng)加速能力強

零背隙 – 直接驅(qū)動

易維護 – 簡單的機械部件，沒有機械連接
可定制范圍廣，有效行程20mm~60m，避免了滑臺的弱點：絲杠的變形和皮帶的松動等現(xiàn)象

直線電機定位平臺
：

客戶可根據(jù)自己需求自行組裝
，定制直線平臺，
直線電機，
直線導(dǎo)軌
，光柵尺反饋
，機械設(shè)計

飛創(chuàng)直線模組目前致力于發(fā)展：超高速、高精度、長行程直線模組（單軸、雙軸、大理石、龍門單雙驅(qū)等）直線模組、線性模組、直線導(dǎo)軌滑臺模組的非標(biāo)定制，可根據(jù)用戶需求定制各種行程及特殊要求的線性模組、直線電機模組，如需或詢價請飛創(chuàng)直線模組技術(shù)工程師。