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真空泄漏測(cè)試是測(cè)試密封部件的主要泄漏測(cè)試方法，這些部件可能會(huì)從外部來(lái)源泄漏到其外殼和外殼中。
真空泄漏測(cè)試程序的主要部件包括：
在真空泄漏測(cè)試過(guò)程中，被測(cè)試的部件或容器(測(cè)試件)連接到壓力/真空管線并放置在測(cè)試室中。
腔室關(guān)閉并密封，所有供氣閥關(guān)閉，測(cè)試件和腔室同時(shí)通過(guò)真空抽真空至預(yù)設(shè)壓力水平。
一旦壓力穩(wěn)定，測(cè)試件中的任何壓力變化都會(huì)與腔室參考體積中的壓力變化進(jìn)行比較。
如果測(cè)試件確實(shí)泄漏，則兩者之間的壓差會(huì)增加。該數(shù)據(jù)被測(cè)量和記錄。
真空泄漏檢測(cè)的功能與壓力衰減測(cè)試類(lèi)似，但本質(zhì)上是相反的。
例如，在壓力衰減測(cè)試期間，測(cè)試室被加壓并且監(jiān)測(cè)測(cè)試室的壓力降低表明從室到部件的泄漏。
然而，在真空衰減中，被測(cè)試的部件被加壓，并且監(jiān)測(cè)測(cè)試室的壓力增加表明從部件泄漏到室中。
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