詳細(xì)介紹
德國(guó)Sentech光伏測(cè)量?jī)xMDPspot,靈活的自動(dòng)掃描系統(tǒng)
具有成本效益的臺(tái)式少子壽命測(cè)試儀MDPspot可用于表征晶片或面。它為少子壽命測(cè)量提供了一個(gè)測(cè)量點(diǎn)。
低成本桌面式壽命測(cè)量系統(tǒng),用于手動(dòng)操作表征不同制備階段的各種不同硅樣品??蛇x的手動(dòng)操作Z軸用于厚度多達(dá)156毫米的樣品。標(biāo)準(zhǔn)軟件可輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。
MDPspot包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng)。只測(cè)量硅的電阻,對(duì)于沒有高度調(diào)節(jié)可能性的晶片,或者對(duì)于磚。這兩個(gè)選項(xiàng)中的一個(gè)必須是預(yù)先定義的。
優(yōu)勢(shì)
。用于單點(diǎn)測(cè)量少子壽命的臺(tái)式裝置,可測(cè)量多晶或單晶硅在不同制備階段,從成長(zhǎng)到后面器件。
。體積小,成本低,使用方便。附帶一個(gè)基本軟件,用于在小型電腦或筆記本上輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。
。適用于晶片上的磚,易于進(jìn)行高度調(diào)整。